কেন ভ্যাকুয়াম আইআর হিটিংই আপনার ফ্যাব লাইনের জন্য সবচেয়ে উপযুক্ত?
ভ্যাকুয়াম অবস্থায় ওয়েফারগুলোকে পরিষ্কার রাখা খুবই কঠিন। সামান্য দূষণই উৎপাদন ক্ষমতাকে কমিয়ে দেয়। এই কারণেই আমরা পুরানো রেজিস্টিভ ফার্নেসগুলো ব্যবহার না করে ভ্যাকুয়াম-সংগত ইনফ্রারেড (IR) হিটারগুলো ব্যবহার করছি।
এটা আরও কার্যকর একটি উপায়; আর অপচয় হওয়া শক্তির পরিমাণ কমানোর মাধ্যমে এটা পৃথিবীকেও সাহায্য করে।
ভ্যাকুয়ামে তাপ দেওয়ার কৌশল
ভ্যাকুয়াম অবস্থায় কনভেকশন ঘটে না; ফলে শুধুমাত্র বিকিরণই থাকে।
পুরো স্টিল চেম্বারটিকে উত্তপ্ত করার চেষ্টা করার পরিবর্তে, আমাদের IR সিস্টেমগুলো উচ্চ-ঘনত্বের শক্তিকে সরাসরি ওয়েফারগুলোর মধ্যে পাঠায়।
এটা খুবই কার্যকর উপায়; কারণ এতে মেশিনের দেয়ালগুলোতে অপচয় হওয়া শক্তির পরিমাণ কমে যায়।
পরিষ্কার রাখা (এবং ঠান্ডা রাখা)
দূষণই সবচেয়ে বড় সমস্যা। গ্যাস নির্গমন রোধ করার জন্য আমরা উচ্চ-মানের কোয়ার্টজ উপাদান ব্যবহার করি। যদি নিম্ন-মানের উপাদান ব্যবহার করা হয়, তাহলে দূষণ বৃদ্ধি পাবে।
আমরা শর্ট-ওয়েভ IR এমিটার ব্যবহার করি; কারণ এগুলো দ্রুত উপাদানগুলোকে উত্তপ্ত করতে পারে।
কিন্তু সাবধান থাকুন—কুলিং সিস্টেমগুলো খুবই গরম হয়ে যায়। যদি কুলিং সিস্টেমটি যথেষ্ট শক্তিশালী না হয়, তাহলে মেশিনটি ক্ষতিগ্রস্ত হবে।
কার্বন কমানো, উৎপাদন কমানো নয়
এখানে সবচেয়ে বড় সুবিধা হলো গতি।
রেজিস্টিভ ফার্নেসগুলো ধীর গতিতে কাজ করে; উত্তপ্ত হতে ও ঠান্ডা হতে ঘন্টার পর ঘন্টা সময় লাগে। অন্যদিকে IR সিস্টেমগুলো কয়েক মিনিটেই কাজ করে ফেলে।
ফলে মেশিনগুলো অপ্রয়োজনীয়ভাবে অবস্থান করার সময় কমে যায়। প্রতি ইউনিটে খরচ হওয়া শক্তির পরিমাণও কমে যায়। এটা আপনার ক্লিনরুমকে আরও স্বচ্ছ করার সহজ উপায়; আর উৎপাদন লাইনকে ধীর করার দরকারও নেই।
যদি আপনি পুরানো হিটিং উপাদানগুলো ব্যবহার করছেন এবং কার্বন কমানোর উপায় খুঁজছেন, তাহলে সেগুলো বদলে এই IR হিটারগুলো ব্যবহার করুন। এটা খুবই সহজ সমাধান।