V procesu FO-WLP je právě krok pečení tím místem, kde se výkon postupně zhoršuje. Mírné ohřevy o 2 °C naruší profil fotorezistoru. Pokud použijete silný ohřev, vzniknou mezery a deformace. Musíte tedy bojovat za tepelnou jednotnost po celé ploše čipu, zatímco čas běží dál.
Co je z hlediska techniky důležité
Vytvořili jsme vyhřívací zařízení na úrovni čipu určené k použití v pecích a horkých deskách, které se nacházejí mezi fází litografie a vytvářením formy. Emitory krátkovlnného halogenu umožňují rychlou a přímou reakci – udržujeme tak jednotnost teploty na úrovni ±0,1 °C v celé aktivní oblasti čipu. Tělo ohřívače je vyrobeno z kvarcu a keramiky vysoké čistoty, takže tvorba částic zůstává na nule v prostorách s úrovní čistoty 1–100.
Opakovatelnost teploty je ±0,2 °C mezi jednotlivými cykly, takže profile mírného a silného ohřevu zůstávají v souladu s specifikacemi. Ovládání probíhá pomocí systému PID s podporou standardů SECS/GEM – takže máte možnost sledovat nastavené hodnoty, rychlost zvyšování teploty a dobu ohřevu.
Proč to funguje v procesu FO-WLP
V procesu FO-WLP se heterogenní čipy skládají do jedné struktury, poté se přerozdělují vstupy a výstupy. Tepelný rozpočet je velmi omezený – musíte zajistit správné aktivování fotorezistoru bez způsobení migrace mědi nebo vzniku napětí způsobeného změnami teploty. Toto vyhřívací zařízení udržuje teplotní profil přesně, čímž se zlepšuje kontrola kritických rozměrů a snižuje se riziko vzniku nečistot.
Vysoká jednotnost teploty snižuje počet vad na okrajích oblasti RDL, zatímco opakovatelnost zkracuje dobu kalibrace. Spotřeba energie klesá, protože emitory se zahřívají pouze v případě potřeby, s minimální tepelnou hmotností. Zařízení je navrženo pro nepřetržitou práci, s využitím plánovaných údržbářských intervencí, nikoli neočekávaných výpadků.
Několik praktických poznámek
Vyhřívač se hodí pro většinu platform typu FO-WLP, avšak integrace závisí na mechanickém provedení, systému vakuového přichycení a uspořádání odvodu vzduchu. Ujistěte se, že napětí a typ konektoru odpovídají vašemu zařízení. Po výměně lampy je potřeba krátké období stabilizace – zařaďte to do plánované údržby, aby profile ohřevu zůstaly v souladu s specifikacemi.