Hören Sie auf, die Wände des Geräts zu erhitzen!
Die meisten Heizelemente strahlen Energie in alle Richtungen ab. In einem Halbleiterwerkzeug ist das ein Problem – man verschwendet dadurch viel Energie und die Innenwände des Geräts werden zu „riesigen Wärmeableitern“. Wenn diese Wände zu heiß werden, entstehen Probleme: Es besteht die Gefahr, dass die empfindlichen Elektronikkomponenten beschädigt werden – oder schlimmer noch: Der Bediener kann sich Verbrennungen zuziehen.
Wir lösen dieses Problem, indem wir direktionale Infrarotlampen verwenden.
Die Wärme genau dorthin lenken, wo sie benötigt wird
Stellen Sie es sich wie eine Taschenlampe vor – anstatt den ganzen Raum mit Licht zu füllen, wird das Licht gezielt auf einen Punkt gerichtet. Durch den Einsatz spezieller Quarzbeschichtungen und Reflektoren wird die Wärmeenergie direkt auf das Werkstück gelenkt. Dadurch entsteht kein „Ofeneffekt“, bei dem der gesamte Raum zu einer Sauna wird. Auf dem Wafer oder Substrat entsteht somit die gewünschte Wärmedichte – während das Gehäuse weiterhin kühl bleibt. Das ist einfach intelligenter.
Warum wir keine billigen Kabel verwenden
Hochleistungs-Infrarotlampen werden extrem heiß. Wenn man Standard-PVC-Kabel verwendet, schmelzen diese bereits beim Kontakt mit heißen Komponenten oder wenn sie zu nah am Gehäuse liegen. Niemand möchte damit umgehen müssen. Deshalb verwenden wir Kabel mit Teflon- (PTFE-)Beschichtung. Diese können die Hitze aushalten und brechen nicht zusammen, selbst wenn es chemisch unangenehme Bedingungen gibt. Zudem ermöglicht dies es uns, die Kabel in enge Bereiche zu verlegen – ohne dass sie mit heißen Oberflächen in Berührung kommen. Billige Isolierungen führen zu Kurzschlüssen und kostspieligen Stillständen. Einfach so.
Die Realitätskonsequenzen
Nichts ist perfekt. Die gezielte Erwärmung belastet das Zielmaterial stark, da der Wärmefluss sehr konzentriert ist. Man muss daher vorsichtig mit den PID-Reglern umgehen. Wenn man nicht präzise vorgeht, kann die Temperatur zu hoch werden und das Werkstück beschädigt werden.
Ein weiterer Tipp bezüglich der Kabel: Obwohl Teflon widerstandsfähig ist, ist es steifer als Silikon. Versuchen Sie also nicht, es in scharfe Kurven zu biegen. Geben Sie ihm einen größeren Biegeradius, wenn Sie die Kabel durch das Gehäuse leiten – sonst wird das Metall irgendwann verschleißen und brechen.