در فرآیند FO-WLP، مرحله پختن، همان جایی است که بازدهی محصول به تدریج کاهش مییابد. پختن نرم با دمای ۲ درجه سانتیگراد، باعث اختلال در پروفایل رزیست فوتوگرافیک میشود. اگر پختن با دمای بالا انجام شود، منجر به ایجاد حفرهها و تغییرات شکلی در قطعات میشود. بنابراین، باید برای داشتن یکپارچگی حرارتی در سطح ویفر تلاش کرد، در حالی که زمان به طور مداوم در حال گذر است.
از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟ ما هیترهایی برای فرآیند پختن در فرآیندهای FO-WLP ساختهایم؛ این هیترها بین مرحله لیتوگرافی و قالبگیری قرار میگیرند. منابع نوری کوتاهامواج، پاسخ سریع و مستقیمی ارائه میدهند؛ همچنین، یکپارچگی حرارتی در سطح ویفر را تا ±۰٫۱ درجه سانتیگراد حفظ میکنند. بدنه هیتر از کوارتز و سرامیک با خلوص بالا ساخته شده است؛ بنابراین تولید ذرات در اتاقهای تمیز کلاس ۱–۱۰۰ به حداقل میرسد.
دقت دما نیز ±۰٫۲ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین پروفایلهای پختن نرم و سخت در محدوده مشخص شده باقی میمانند. کنترل دما از طریق سیستم PID انجام میشود؛ همچنین، امکان کنترل دقیق دما، نرخ تغییر دما و زمان پختن نیز وجود دارد.
چرا این روش در FO-WLP مؤثر است؟ در فرآیند FO-WLP، قطعات مختلف در یک قالب قرار میگیرند و سپس درگاههای ورودی/خروجی مجدداً توزیع میشوند. محدودیتهای حرارتی در این فرآیند بسیار زیاد است؛ بنابراین باید فعالسازی رزیست فوتوگرافیک بدون ایجاد مشکلات مربوط به جابجایی مس یا استرس حرارتی انجام شود. این هیتر، منحنی پختن را به طور دقیق کنترل میکند؛ بنابراین کنترل ابعاد کلیدی بهبود مییابد و خطرات مربوط به تغییرات شکلی نیز کاهش مییابد.
یکپارچگی حرارتی بالا، باعث کاهش تعداد قطعات نامرغوب در RDL میشود؛ همچنین، دقت بالا، زمان لازم برای تست قطعات را کاهش میدهد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا منابع نوری فقط زمانی گرم میشوند که نیاز باشد، و حجم حرارتی مربوطه نیز کم است. این هیتر برای کار ۲۴/۷ طراحی شده است؛ بنابراین به زمانهای تعمیرات برنامهریزیشده نیاز است، نه توقفات ناخواسته.
چند نکته عملی: این هیتر مناسب اکثر پلتفرمهای گرمایشی FO-WLP است؛ اما یکپارچهسازی آن به عوامل مکانیکی، سیستمهای جذب خلأ و مسیرهای خروج گاز بستگی دارد. ولتاژ و نوع کانکتور را باید متناسب با تجهیزات خود انتخاب کرد. پس از تعویض لامپ، مدت زمان کوتاهی برای استابیلسازی لازم است؛ بنابراین باید این کار را در برنامههای تعمیراتی انجام داد تا پروفایلهای پختن در محدوده مشخص شده باقی بمانند.