دیگر نیازی نیست تجهیزات خود را با حرارت بسوزانید؛ روش بهتری برای مدیریت حرارت در تجهیزات نیمههادی وجود دارد.
در کارخانههای تولید نیمههادی، همواره با چالشهایی روبرو هستیم؛ لازم است ویفر یا سطح زیرین تجهیزات را گرم کنیم، اما نمیخواهیم که قسمتهای داخلی تجهیزات نیز آسیب ببیند.
گرمکنهای معمولی، گرمای زیادی را در همه جا پخش میکنند؛ در نتیجه، بدنه تجهیزات داغ میشود و خطرات ایمنی ایجاد میگردد. این موضوع واقعاً آزاردهنده است.
به همین دلیل، از لامپهای گرمکنی با خلوص بسیار بالا استفاده میکنیم.
نحوه کارکرد این لامپها
لامپهای معمولی مانند لامپهای چراغهای اتاقی هستند؛ یعنی نور آنها در همه جهات پخش میشود. اما لامپهای گرمکنی با خلوص بالا، از پوششهای داخلی و بازتابندههای ویژهای برای هدایت انرژی مادون قرمز به یک جهت خاص استفاده میکنند.
این مانند تغییر از چراغهای عمومی به چراغهای نورپردازی دقیق است.
از آنجایی که پرتو نور بسیار باریک است، گرما دقیقاً به جای مناسب خود میرسد؛ در نتیجه، دمای مورد نیاز روی سطح ویفر حاصل میشود، اما دیوارههای تجهیزات سرد باقی میمانند. شما میتوانید به راحتی آنها را لمس کنید.
خلوص، مهمترین عامل است
البته موضوع فقط مربوط به حرارت نیست؛ در این صنعت، آلودگی دشمن اصلی است.
ما از کوارتز سنتتیک با کیفیت بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده اجازه نمیدهد یونهای فلزی در طول فرآیند گرمایش نشت کنند. اگر به دنبال خلوص ۹۹.۹۹۹٪ باشید، استفاده از لامپهای هالوژنی میتواند فاجعهبار باشد؛ زیرا باعث خرابی محصولات میشود.
نکته مهمی که باید در نظر گرفت این است که این لامپها، توان زیادی را در فضای کوچکی مدیریت میکنند؛ بنابراین ولتاژ باید کاملاً پایدار باشد. اگر ولتاژ کاهش یابد، ممکن است نور لامپ نامنظم شود یا نقاط سردی روی سطح ویفر ایجاد شود.
مزایا و معایب
مزیت این روش این است که کارایی بسیار بالاتری دارد؛ اما معایب آن نیز وجود دارد.
نمیتوان این لامپها را در هر جایی نصب کرد؛ زاویه قرارگیری بازتابندهها باید دقیق باشد. اگر لامپ چند میلیمتر از محل مناسب خود فاصله داشته باشد، نقاط گرمی روی سطح تجهیزات ایجاد خواهد شد.
نصب صحیح این لامپها نیاز به صبر دارد؛ اما وقتی که پرتو نور همیشه به مرکز هدف برسد، تجربه کاملاً متفاوتی خواهد بود.