בחדר הייצור, תהליך האידוי של הדבק אינו סתם תהליך חימום רגיל. מדובר בתהליך שדורש שליטה קפדנית בטמפרטורה – שליטה שמשפיעה ישירות על איכות ההדבקה. אותה דרישה תקפה גם לגבי תהליכי חימום הפוטורזיסט. הטמפרטורה חייבת להיות אחידה, בכל פעם מחדש. גם חומרי ההדבקה דורשים אותה רמת אחידות. אם הטמפרטורה אינה קבועה, עלולים להופיע בעיות כמו הדבקה לא איכותית וכשלים בתהליך ההדבקה.
מה עשינו כדי לשפר את התהליך
אנו משתמשים במקורות אור אינפרא-אדום שמתאימים לטווחי הספיגה של הדבק. כך, האנרגיה מגיעה למקום הנכון – במהירות, מבלי לגרום נזק לחומר. הטמפרטורה באזור החם נשמרת ברמה של ±0.1°C בכל שטח הוואפר. החדר מיועד לעבודה בסביבה נקייה מסוג Class 1–100, כך שכמות החלקיקים באוויר מוגבלת למינימום. האחידות בטמפרטורה בין הפעמים השונות של התהליך מבטיחה שהפרופילים של תהליך ההדבקה יהיו תואמים לסטנדרטים הנדרשים.
למה זה עובד בייצור
בייצור האמיתי, התוצאה היא ממדים יציבים ופחות צורך בתיקונים. אור אינפרא-אדום מאפשר חימום אחיד של שכבות הדבק, מה שמפחית את הלחץ התרמי ומונע הדבקה לא איכותית באזורים מסוימים. כך ניתן להשתמש במחזורי חימום קצרים יותר, בלי לאבד שליטה על התהליך. כמו כן, צריכת הגז נמוכה יותר בהשוואה לתנורים שמשתמשים בשיטת חימום קונבקציונלית. כל אלו מבטיחים חוזק איכותי של חומרי ההדבקה. כתוצאה מכך, יש פחות וואפרים שצריך לזרוק, שעות עבודה יציבות, וצריכת אנרגיה נמוכה יותר לכל וואפר.
מה צריך לקחת בחשבון
חימום באמצעות אור אינפרא-אדום דורש שהחלקים יהיו בשדה הראייה של המקור. לכן, צורת החלקים והצללים שהם יוצרים חשובים מאוד. חלקים עם צורות מורכבות עשויים להזדקק לשלבי חימום נוספים כדי שההדבקה תהיה איכותית. אנו מתאימים את גודל המנורות והעדשות כדי למזער את ההבדלים בטמפרטורה בקצוות הוואפר. עם זאת, עדיין יש צורך לבדוק את הפרופילים של ההדבקה על הוואפרים הספציפיים במהלך פיתוח התהליך.