בחדר הייצור, סטייה בטמפרטורת החימום אינה רק בעיה שדורשת תחזוקה – זו בעיה שעלולה לפגוע בתהליכי הייצור, כמו גם בתהליכי ייבוש הוופרים. חשוב לשמור על רמת טמפרטורה קבועה ולמנוע פגמים בתהליך הייבוש. כאשר המכשיר המקורי מתבלה, טווח הטמפרטורות האפשריים צומצם – וכתוצאה מכך יורדת רמת הייצור.
מה חשוב בפועל? אנו מייצרים מחליפים שמתאימים לממשקים התרמיים והמכניים של מכשירי Lam Research, כך שתהיה אחידות ברמת הטמפרטורה של הוופרים ברמה של ±0.1°C. בנוסף, המחליפים מתאימים לתנאי החדר הנקי, מסדרה 1 ועד 100. פרופילי האינפרא-אדום בעלי גלים קצרים או בינוניים מותאמים לצרכי הפוטורזיסט. אין יצירת חלקיקים, בזכות השימוש בחומרים כמו קוורץ וקרמיקה עם מפרקים אטומים. ההספק והמתח מתאימים לתנאי החדר, וסוג החיבורים, טולרנסיות ההתקנה והתגובה התרמית מתאימים למכשיר המקורי.
למה זה עובד בפועל? ניתן לשמור על אותו זמן טיפול, אותם פרופילי חימום ואותה איכות בתהליך הליתוגרפיה – אין צורך לבצע בדיקות נוספות לכל המערכת. צריכת האנרגיה נשארת בגבולות המקוריים, והאמינות של המכשיר נשמרת בזכות שליטה בטמפרטורה. התוצאה: פחות התערבויות לא מתוכננות ושליטה טובה יותר על הממדים החשובים של המוצרים.
כמה עובדות מהשטח: ההתקנה כוללת התאמת סוג החיבורים של המכשיר ובדיקת מיקום התרמוקפל. אם המיקום לא נכון, הפרופילים של הטמפרטורה ישתנו. יש לבצע בדיקות קצרות לאחר ההחלפה, ולוודא שאין חלקיקים באוויר. אנו מספקים מחליפים שעומדים בסטנדרטים הנדרשים, כך שניתן להחליף אותם בלי לעשות שינויים בתהליך הייצור או בכלים המשמשים.