फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया कोई “वार्म-अप” प्रक्रिया नहीं है… यह तो एक महत्वपूर्ण प्रसंस्करण चरण है।
यदि इस प्रक्रिया में 1°C का भी अंतर हो जाए, तो सीडी में परिवर्तन हो जाता है, साइडवॉल का कोण भी बदल जाता है, एवं दोषों की संख्या भी बढ़ जाती है। ओवन में उपयोग होने वाले क्वार्ट्ज हीटर ट्यूबों से निरंतर एवं स्थिर ऊष्मा प्राप्त होनी आवश्यक है… कोई कण उत्पन्न न हो, एवं कोई परिवर्तन न हो।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे ट्यूबों को पतली वेफरों के लिए उपयुक्त बनाते हैं… ताकि तापमान स्थिर रहे। सक्रिय क्षेत्र में तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… ऐसे में विभिन्न लोडों के तहत भी तापमान स्थिर रहता है। मध्यम-तरंगदैर्घ्य वाली इन्फ्रारेड तकनीक से त्वरित प्रतिक्रिया प्राप्त होती है… इससे समय कम हो जाता है, एवं चक्र-समय भी स्थिर रहता है।
क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग कम गैस उत्सर्जन एवं क्लीनरूम परिस्थितियों हेतु किया जाता है… ऐसे में कणों की संख्या नियंत्रित रहती है। ऊर्जा-घनत्व को ओवन की ज्यामिति के अनुसार ही समायोजित किया जाता है… एवं ट्यूबों का डिज़ाइन उच्च शुद्धता हेतु ही किया जाता है।
उत्पादन में ऐसे ट्यूब क्यों उपयोगी हैं?
उत्पादन ओवन में ऐसी ऊष्मा आवश्यक है, जिस पर हर बार भरोसा किया जा सके। ऐसे ट्यूबों से फोटोरेजिस्ट का प्रोफ़ाइल स्थिर रहता है… इससे पुनर्कार्य की आवश्यकता नहीं पड़ती, एवं उत्पादन दर भी बनी रहती है। उच्च तापीय स्थिरता से परीक्षण-चक्र संक्षिप्त हो जाते हैं… एवं SPC चार्टों में नियंत्रण-सीमाएँ भी स्थिर रहती हैं।
ऊर्जा-उपयोग कम हो जाता है… क्योंकि ऊष्मा का पुनर्उपयोग जल्दी हो जाता है, एवं अपशिष्ट ऊष्मा भी कम हो जाती है। ऐसे में अप्रत्याशित हस्तक्षेप भी कम हो जाते हैं… ट्यूबों की आयु हजारों घंटों तक रहती है… एवं उनका आदान-प्रदान भी अनुमानित ही होता है।
किन बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
इंस्टॉलेशन के दौरान सटीकता आवश्यक है… अलाइनमेंट, माउंटिंग दबाव, एवं थर्मल इंटरफ़ेस को ओवन के डिज़ाइन के अनुसार ही होना चाहिए… अन्यथा गर्म बिंदु बन जाते हैं, एवं ट्यूबों की आयु भी कम हो जाती है।
ट्रांसफ़र से पहले वोल्टेज एवं कनेक्टरों की संगतता की जाँच करें… एवं ओवन की हवा-प्रवाह प्रणाली एवं शील्डिंग में कोई परिवर्तन न होने की भी जाँच करें… क्योंकि तापीय स्थिरता पूरी प्रणाली पर ही निर्भर है… केवल ट्यूबों पर ही नहीं।