सेमी-फैब्रिकेटेड उत्पादों में कार्बन कम करना: वैक्यूम आईआर क्यों प्रभावी है? ईमानदारी से कहें तो, पारंपरिक रेजिस्टिव फर्नेसेस बहुत अधिक ऊर्जा खर्च करती हैं। वे पूरे चेम्बर को गर्म करने हेतु बहुत अधिक ऊर्जा खर्च करती हैं – दीवारों सहित… सिर्फ इसलिए कि वेफर को सही तापमान पर लाया जा सके। यह तो ऐसा ही है, जैसे कि केवल एक कप कॉफी को गर्म करने हेतु पूरे घर को गर्म करना। यह बेकार है… और “ग्रीन फैक्ट्री” नियमों के कारण यह एक बड़ी समस्या बन गई है। यहीं पर वैक्यूम आईआर की भूमिका आती है। चेम्बर को गर्म करने के बजाय, हम सीधे वेफर को ही गर्म करते हैं। भौतिकी के नियम कैसे काम करते हैं? वैक्यूम में कंवेक्शन संभव ही नहीं है… हम पूरी तरह से विकिरण पर ही निर्भर रहते हैं। हम इन सिस्टमों को ऐसे ही सेट करते हैं कि वे उन्हीं तरंगदैर्घ्यों पर काम करें, जिन्हें सिलिकॉन या गैलियम नाइट्राइड आसानी से अवशोषित कर सकें। चूँकि ऊर्जा सीधे ही सब्सट्रेट में जाती है, इसलिए चेम्बर की दीवारों को गर्म करने में कोई समय नहीं खर्च होता… इससे ऊर्जा की खपत कम हो जाती है। हार्डवेयर संबंधी बातें हम इन लैंपों को उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज एवं टंगस्टन फिलामेंटों से ही बनाते हैं। लेकिन चूँकि ये वैक्यूम में ही काम करते हैं, इसलिए हमें सीलिंग पर बहुत ध्यान देना होता है… अगर वैक्यूम टूट जाए, तो संदूषण हो जाता है… और कोई भी खराब वेफर नहीं चाहता। निष्कर्ष आईआर तकनीक का उपयोग करने से, आपको उन बड़े हीटिंग एलिमेंटों पर निर्भर रहने की आवश्यकता ही नहीं है… अब सिस्टम केवल तभी ही अधिक ऊर्जा खर्च करता है, जब वास्तव में गर्मी पैदा हो रही होती है। कई मामलों में, यह पुरानी थर्मल तकनीकों का ही विकल्प है… इससे उत्पादन दर बढ़ जाती है, एवं कार्बन उत्सर्जन भी कम हो जाता है। बस ध्यान रखें कि आपके वैक्यूम पंप इतनी ऊर्जा को संभाल सकें… वरना लैंपों के हाउसिंग खराब हो जाएंगे… और यह कोई ऐसी समस्या नहीं है, जिसे कोई भी संभालना चाहेगा।