देखिए, कैसे वेट स्टेशन से वेफर बाहर आता है। यदि ड्राइंग लैम्प पर्याप्त रूप से काम नहीं करता, तो वेफर पर नमी बनी रहती है, जिसके कारण फोटोरेजिस्ट ऊपर उठने लगता है। ऐसी स्थिति में उत्पादन की गुणवत्ता प्रभावित होती है। हमने अपने सौर सेल वेफरों को सुखाने हेतु ऐसा ड्राइंग लैम्प डिज़ाइन किया है, ताकि ऐसी समस्याओं से बचा जा सके।
इस लैम्प में NIR एमिटरों का उपयोग किया गया है; इससे वेफर तेज़ी से सूख जाता है, बिना उसकी सतह को नुकसान पहुँचाए। वेफर की सतह पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है; इससे “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ हर बार एक ही तरह से होती हैं। यह लैम्प क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी काम कर सकता है, बिना किसी धूल/कण के उत्पन्न होने के। इससे दोषों की संख्या नियंत्रित रहती है। इस लैम्प से निरंतर एवं विश्वसनीय परिणाम प्राप्त होते हैं, एवं 5,000 घंटों तक भी इसका प्रदर्शन स्थिर रहता है।
उत्पादन प्रक्रिया में तापीय नियंत्रण बहुत महत्वपूर्ण है। यह लैम्प तेज़ी से वेफर को सूखा देता है, बिना पतली परतों एवं पैसिवेशन लेयरों को नुकसान पहुँचाए। इसके परिणामस्वरूप उत्पादन समय कम हो जाता है, ऊर्जा की खपत कम हो जाती है, एवं पुनर्निर्माण की आवश्यकता भी कम हो जाती है। पैकेजिंग में भी यह लैम्प नमी से संबंधित समस्याओं को कम करता है, एवं प्रक्रिया में अधिक स्थिरता लाता है। उत्पादन की गुणवत्ता भी नियंत्रित रहती है, एवं प्रक्रिया में कोई बदलाव नहीं आता।
कुछ व्यावहारिक बातें… इस लैम्प को विशेष, स्वच्छ बिजली आपूर्ति की आवश्यकता है, एवं इसके आसपास उचित तापीय नियंत्रण भी आवश्यक है। यह लैम्प नियंत्रित वातावरण में ही सबसे अच्छा काम करता है – यदि वातावरणीय आर्द्रता 70% से अधिक हो, तो सूखने में समय बढ़ जाता है; इसलिए इस समस्या को उपकरण स्तर पर ही हल करना आवश्यक है। इस लैम्प को अपनी मौजूदा उपकरण सुविधाओं में लगाना आसान है; लेकिन ऑर्डर देने से पहले कनेक्टर के प्रकार एवं वोल्टेज की जाँच अवश्य करें।