Mengurangi Emisi Karbon saat Mengeringkan Wafer MEMS
Kami telah mengganti oven konvensional yang kuno dan tidak efisien tersebut dengan lampu pemanas inframerah (IR) untuk mengeringkan wafer sensor MEMS. Tujuannya sangat jelas: mempercepat proses pengeringan wafer sehingga airnya hilang lebih cepat, sekaligus mengurangi konsumsi energi.
Jika Anda pernah bekerja di pabrik manufakturing, Anda pasti tahu betapa banyak energi yang diperlukan untuk memanaskan udara dalam jumlah besar hanya untuk mengeringkan sepotong silikon kecil. Itu merupakan pemborosan energi. Dengan beralih ke metode “pabrik hijau”, kita dapat menghindari pemborosan energi tersebut.
Cara kerja lampu IR
Bayangkan saja: metode pemanasan tradisional akan memanaskan seluruh ruangan. Sedangkan lampu IR hanya memanaskan wafer saja. Kami menggunakan emitor IR berfrekuensi pendek, karena cahayanya mampu menembus lapisan kelembapan dengan cepat. Hal ini membuat proses penguapan terjadi secara instan. Waktu pengeringan pun bisa dikurangi dari menit menjadi detik. Selain itu, lampu ini hanya mengonsumsi daya ketika benar-benar aktif. Tidak perlu lagi membayar biaya listrik untuk pemanas yang tetap menyala sepanjang hari.
Masalah-masalah yang harus dihadapi
Tidak semuanya mudah. Untuk mendapatkan intensitas panas yang dibutuhkan untuk proses pengeringan wafer MEMS, kami harus menggunakan lampu kuarsa berdaya tinggi. Lampu-lampu ini perlu tahan terhadap suhu ekstrem, karena ia harus beroperasi antara suhu dingin dan panas yang sangat tinggi tanpa retak. Kami juga menggunakan lapisan khusus agar panasnya mengenai wafer, bukan bagian casing alatnya. Anda tentu tidak ingin peralatan Anda meleleh saat proses pengeringan berlangsung.
Selain itu, ada masalah terkait arus listrik yang dihasilkan oleh lampu IR. Arus listrik yang dihasilkan bisa sangat tinggi saat lampu dihidupkan. Jika sistem listrik di pabrik Anda belum siap untuk menangani hal ini, maka saklar pemutus arus akan sering terputus.
Ada juga masalah “titik panas”. Jika posisi lampu tidak tepat, proses pengeringan akan tidak merata. Kami mengatasi hal ini dengan menyesuaikan bentuk reflektor agar panasnya tersebar merata di permukaan wafer berukuran 200 mm atau 300 mm.
Mengapa hal ini penting bagi planet bumi
Pada akhirnya, hal ini berkaitan dengan jejak karbon yang dihasilkan. Dengan mengurangi konsumsi energi per wafer, kita dapat mengurangi emisi karbon yang dihasilkan. Kita tidak perlu lagi menggunakan sistem ventilasi yang kompleks untuk mengeluarkan udara panas yang terbuang. Dengan begitu, konsumsi energi dan emisi CO2 pun berkurang. Ini merupakan cara sederhana namun efektif untuk membuat proses pengeringan wafer MEMS menjadi lebih ramah lingkungan.