なぜ金コーティングがIRエネルギーの利用において重要なのか スマートセンサーのパッケージや半導体ウェーハを扱う際、重要なのはただ一つです。それは、IRエネルギーをすべてそのウェーハに届けることです。高価なエネルギーが無駄に機械の内部に漏れてしまっては困ります。 そこで役立つのが金コーティングされた反射板です。 アルミニウムは一般的に使われていますが、長波長のIRエネルギーを多く逃がしてしまいます。一方、金は異なり、その放射エネルギーの98％も反射します。高純度の金で加熱室を覆うことで、光子を閉じ込め、再びウェーハの方へ向けることができます。 これにより、より均一で集中した加熱領域が得られます。最良な点は、ランプの出力を上げることなく、ウェーハの表面により多くの熱を与えられることです。 しかし、出力だけが全てではありません。 基板の端に「冷え込み」がある場合、どれほどイライラするかご存知でしょう。それによって均一性が損なわれます。実際にウェーハが均等に加熱されるかどうかは、反射板の形状やコーティングの品質にかかっています。金コーティングによって、表面全体が同時に所定の温度に達するようになります。 ただし、注意点もあります。金は熱を反射するのに優れていますが、柔らかいため、研磨剤を使ったり、清掃を行ったりすると、コーティングが傷ついたり剥がれたりしてしまいます。そうなると、効率が低下し、加熱に時間がかかるようになります。クリーンルームの規則を守り、誰もその表面に触れないようにしなければなりません。 本当の利点は、日常の運用が変わることです。この反射板が正しく機能していれば、より低い出力でも同じ結果が得られます。これにより、冷却システムへの負担が減り、加熱要素の寿命も長くなります。 ウェーハ上の加熱が均一でない場合、単にランプを大きくする必要があると思わないでください。多くの場合、問題は反射板が十分に機能していないからです。