バイオセンサーの研究室で起こるライトの爆発という悪夢を防ぐには、まず、たった一つのライトが壊れるだけで、大量のウェーハが無駄になってしまうことほど厄介なことはありません。高負荷の状態で石英管が破裂すると、単に電球が壊れただけではありません。ガラスの破片やハロゲンガスが直接ウェーハに降り注ぎます。これは即座に混乱を引き起こし、完全な損失につながります。私たちは、このような問題に悩まされないように、特別に設計された赤外線ランプを使用しています。 なぜライトが壊れるのか？ 通常、熱ストレスや接続部分での電気的な放電が原因です。これを防ぐために、高純度の合成石英を使用しています。これにより、熱が均等に分散され、電力を強くしても管が簡単には壊れません。また、フィラメントの位置も重視しています。フィラメントが少しでもずれると、壁面に熱点ができてしまいます。そして、熱点は結局、ライトが破壊される原因になります。 ウェーハを安全に守るために 私たちは二段階の対策を講じています。まず、石英を処理して、ファブ内の化学物質によって侵食されないようにします。次に、「シャッターシールド」と呼ばれる保護ケースを使用します。もし内部のライトが壊れても、このケースが破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハは汚れずに済みます。これは大変便利です。 ちなみに、電圧の規定を厳守してください。より多くの熱を得るために過剰な電圧をかけたくなりますが、それはフィラメントを早く壊し、破壊の可能性を高めるだけです。 設置時に注意すべき点 私たちの高密度赤外線ランプは、迅速な加熱が可能ですが、その熱は非常に強烈です。そのため、取り付けブラケットに大きな負担がかかります。必ず低膨張性の支持材を使用してください。もしフレームが熱で変形してしまうと、ガラス部分に機械的なストレスがかかり、ライトが割れてしまいます。また、冷却用の空気の流れも確認してください。中心部が熱を発生させる間、ライトの端が冷たく保たれるようにしなければなりません。