キャビネットの内壁を加熱しないようにしましょう
ほとんどの加熱要素は、エネルギーをあらゆる方向に放出します。半導体製造装置では、これは問題です。大量の電力が無駄になり、装置の内壁が巨大な放熱体として機能してしまいます。
内壁が過度に熱くなると、トラブルが起こります。敏感な電子部品が破壊されたり、最悪の場合、作業員が火傷を負う可能性もあります。
私たちは、指向性のある赤外線ランプを使用することでこの問題を解決しています。
熱を必要な場所に集中させる
これは、電球の代わりに懐中電灯を使うようなものです。部屋全体を明るくするのではなく、光を特定の方向に向けます。
特殊な石英コーティングや反射板を使うことで、熱エネルギーを直接ワークピースに届けることができます。そうすることで、装置全体がサウナのようになる「オーブン効果」を防ぎます。ウェーハや基板に必要な熱密度を得られる一方で、装置本体は冷たいままです。これはずっと合理的です。
なぜ安価な配線を使わないのか
高出力の赤外線ランプは非常に高温になります。
もし通常のPVC配線を使うと、熱い部品に触れた瞬間に溶けたり、発煙したりします。そんな状況は避けたいものです。
そのため、私たちはテフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用します。これにより、化学的な影響を受けても破損することがありません。また、配線を狭い場所に通す際にも、ケーブルが熱い表面に触れても問題ありません。安価な絶縁材は短絡や高額な修理費用を招く原因になります。簡単な話です。
実際の妥協点
完璧なものはありません。指向性加熱では、熱流が集中するため、対象材料に大きな負担がかかります。
PIDコントローラーの操作にも注意が必要です。精度が低いと、温度が上がりすぎて部品が損傷してしまいます。
また、配線についても注意が必要です。テフロンは丈夫ですが、シリコーンよりは硬いです。急な角に曲げないようにしましょう。フレーム内を通す際には、十分に曲率を大きくしておく必要があります。そうしないと、金属が疲労して断裂してしまいます。