ウェーハ加工用の工具が破損するのを防ぐために 正直に言うと、この業界では、わずかなアーク発生だけで、大量のシリコン製品が廃棄されてしまいます。それは誰もが避けたい悪夢です。そのため、私たちは「ランダムサンプリング」を行いません。10個に1個だけ検査して、運が良ければ大丈夫というわけにはいきません。...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストのソフトベイク時に生じる0.5度程度のずれは、些細な問題ではありません。それは線幅の変動や溶剤の残留、歩留まりの低下として現れ、どんな監査でもその原因を特定することはできません。私たちは、このような不確実性を排除するために、IRソフトベイクモジュールを開...