Di lantai pengeluaran, nod 5nm tidak memberikan ruang untuk beralih pada suhu. Satu titik panas di dalam ruang CVD dan anda sedang melihat ketidakseragaman ketebalan, pergeseran stoikiometri, dan wafer yang dibuang sebelum ia meninggalkan alat. Pemanas itu mesti diletakkan tepat di lokasi yang ditetapkan oleh resepi, dari satu pusingan ke pusingan yang lain.
Apa yang penting, dari segi teknikal
Kami membina pemanas CVD di sekeliling elemen inframerah gelombang pendek yang meletakkan medan termal terkawal merentasi susceptor—fokus ketat, sub-milimeter. Anda mendapatkan keseragaman di peringkat wafer dalam ±0.1°C, dan kebolehulangan setpoint yang kekal merentasi banyak dan shift. Tindak balasnya cukup pantas untuk mengikuti langkah resepi tanpa melebihi, jadi anda tidak merosakkan tekanan filem atau selektiviti pemendapan.
Badan pemanas adalah kuarza dan seramik berkualiti tinggi, dipilih untuk memastikan penghasilan partikel hampir sifar—kerana di dalam bilik bersih Kelas 1–100, itu bukan sekadar keinginan, ia adalah asas. Keluaran tetap stabil melalui lebih dari 5,000 jam, dengan pergeseran dikekalkan di bawah 5%.
Mengapa ini penting dalam CVD
CVD adalah mengenai pengurusan bajet termal. Keseragaman yang ketat bermakna lebih sedikit penolakan tepi dan kurang kerja semula. Penetapan yang cepat memendekkan masa kitaran dan mengurangkan penggunaan tenaga dengan mengurangkan masa soak yang tidak aktif. Bahan mesra bilik bersih dan antara muka yang ditutup menjaga pengiraan partikel rendah, jadi anda menghabiskan kurang masa untuk pembersihan pencegahan dan lebih banyak masa dalam pengeluaran.
Kawalan termal yang sama juga diterapkan pada langkah bakar photoresist—bakar lembut dan bakar keras—di mana ia melindungi kawalan CD dan profil dinding sisi dengan mengeluarkan aliran yang disebabkan oleh titik panas dari gambaran.
Apa yang perlu diperhatikan
Pemasangan bergantung kepada ketepatan permukaan dan perlindungan. Pantulan dari dinding ruang dan alat boleh mencipta maklum balas tempatan, jadi kami menetapkan baffle dan orientasi.
Tindak balas termal yang cepat adalah satu kelebihan, tetapi ia juga bermakna anda memerlukan pengawal yang boleh mengikut—penalaan PID adalah penting. Rancang satu pusingan pengkomisionan pendek untuk memetakan emissivity ruang anda dan mengunci setpoint yang memberikan ketebalan filem yang boleh diulang, setiap pusingan.