Het correct gebruiken van infraroodverwijding voor leidvrije semiconductoren
Als je de wereldwijde standaarden voor schone werkruimtes wilt halen, is infraroodverwijding meestal de beste oplossing. Het is schoner, leidvrij en goed voor het milieu. Stel je eens voor dat je een convectiekookoven gebruikt: je verwarmt dan al de lucht in de kamer alleen maar om het onderdeel op temperatuur te brengen. Dat is verspilling. Infraroodverwijding werkt anders: de energie wordt rechtstreeks naar het onderdeel gestuurd. Er zijn geen chemische oplosmiddelen nodig, er wordt geen energie verspild en de benodigde ruimte is veel kleiner.
Waarom we Teflon-kabels gebruiken
Hier wordt het lastig. Deze heaters worden ontzettend heet. Als je standaard PVC- of siliconenkabels gebruikt, zullen deze smelten of gaan ze gassen afgeven. In een schone werkruimte is dat een nachtmerrie – je wilt immers niet dat er ongewenste gassen in de wafers terechtkomen. Daarom gebruiken we Teflon (PTFE)-geïsoleerde kabels. Deze kabels kunnen de hoge temperaturen goed verdragen. Ze zijn bestand tegen chemicaliën en blijven stabiel, zelfs wanneer de heater op maximale snelheid draait. Dit is de enige manier om te voorkomen dat er kortsluitingen optreden wanneer de machine zijn maximale temperatuur bereikt.
De magie van de infraroodfysica
Het echte geheim zit hem in het afstemmen van de golflengte van de lamp op de absorptieband van het materiaal. Hierdoor wordt er geen elektriciteit verspild aan het verwarmen van het metalen frame van de machine. De energie wordt rechtstreeks naar het onderdeel gestuurd. Het proces gaat erg snel – het duurt maar een paar minuten in plaats van uren. Dit verandert volledig de werkwijze.
De nadelen (en waar je op moet letten)
Natuurlijk is niets perfect. Hoge intensiteit van infraroodverwijding legt veel druk op de stroomvoorziening. Teflon kan de hitte wel verdragen, maar de hoge stroomsterkte kan problemen opleveren. Als je stoppen of contactoren niet goed zijn afgesteld, kan dat tot storingen leiden. Een tip: let op het dikte van de kabels. Als ze te dun zijn, zal er een spanningsschommeling optreden, waardoor de verwarming niet gelijkmatig is over het hele oppervlak van de wafer. Sommige plekken zullen dan warmer zijn dan andere. Om alles soepel te laten verlopen, raad ik aan om de verbindingen om de drie maanden te controleren. Hitte zorgt er namelijk voor dat metaal uitzet en samentrekt, waardoor de verbindingen na verloop van tijd losser kunnen worden. Het is beter om ze nu al vast te maken, zodat je later geen problemen hebt.