Stop met het verhitten van je apparatuur: een betere manier om hitte te beheersen in semi-fabrieken voor halfgeleiders
In semiconductiefabrieken is er voortdurend een strijd. Je moet de schijf of het substraat heet maken, maar je wilt niet per ongeluk het interieur van je apparaat beschadigen.
Standaard stralingsverwarmers zijn nogal onhandig. Ze verspreiden hitte overal. Voor je het weet, zijn de wanden van je apparaat verhit, waardoor er een veiligheidsrisico ontstaat. Dat is lastig om mee om te gaan.
Daarom gebruiken we UHP-lampen (Ultra High Purity).
Hoe het werkt
Stel je een gewone lamp voor als een gloeilamp in een kamer – die straalt licht in alle richtingen uit. UHP-lampen zijn anders. Ze maken gebruik van speciale coatingen en reflectoren om de infrarode energie in één bepaalde richting te sturen.
Het is alsof je van een schijnwerper overgaat op een spotlicht.
Omdat het lichtbundeltje smal is, gaat de hitte precies waar het hoort. Op de oppervlakte van de schijf krijg je de gewenste temperatuur, terwijl de wanden van het apparaat koel blijven. Je kunt ze zelfs aanraken.
Zuiverheid is belangrijk
Het gaat echter niet alleen om de hitte. In deze branche is contaminatie het grootste probleem.
We gebruiken hoogwaardig synthetisch kwarts, omdat dit materiaal geen metalen ionen vrijlaat tijdens het verwarmingsproces. Als je 99,999% zuiverheid nastreeft, is een gewone halogeenlamp een ramp. Die zal je productie verpesten.
Een punt om op te letten: deze lampen verwerken veel energie in een klein gebied. Dat betekent dat de spanning stabiel moet zijn. Als de spanning daalt, zie je flakkeringen of vreemde koude plekken op de schijf.
De nadelen
Het nadeel is dat gerichte verwarming veel efficiënter is, maar minder flexibel. Je kunt deze lampen niet zomaar in een willekeurige behuizing plaatsen. De geometrie van de reflector moet perfect zijn. Als de lamp zelfs maar een paar millimeter uit de lijn zit, ontstaan er hete plekken op het substraat.
Het duurt even om de montageringen goed in te stellen, maar zodra het lichtbundeltje altijd precies op het doel terechtkomt, is het een stuk gemakkelijker.