Out on the packaging floor, a CSP heater going down stops the whole line. Every minute of unplanned downtime means scrapped wafers and margin going up in smoke. We built our wafer-level CSP heater to run 7×24 without throwing a fault, because when you’re chasing yield, uptime comes first. Co jest technicznie istotne Specyfikujemy jednorodność termiczną na poziomie ±0,1°C na powierzchni wafera, tak aby każdy etap miękkiego i twardego wypieku fotoresistu mieścił się w założonym bilansie cieplnym — bez przesunięć na krawędziach. Urządzenie jest gotowe do pracy w cleanroomach o klasie od 1 do 100, a geometria grzałki została zaprojektowana tak, aby nie generować cząstek. Bez dodatkowego czyszczenia. Bez strat wydajności. Powtarzalność zapewniona jest przez stabilny, zamknięty obieg profilu temperaturowego, który utrzymuje zadane wartości cykl po cyklu. Przewidujemy żywotność na poziomie dziesiątek tysięcy godzin, a nie tysięcy, z oknami serwisowymi, które można przewidzieć. Dlaczego to działa na poziomie wafera CSP W wafer-level CSP powtarzalność temperatur jest czynnikiem gwarantującym integralność połączeń, kontrolę odkształceń i stałość szerokości linii po litografii. Można zaostrzyć limity specyfikacji bez konieczności nadrabiania dryftu. Zużycie energii spada, ponieważ grzałka szybko osiąga zadany poziom, a następnie pracuje w trybie spoczynku. Nieplanowane przestoje są zredukowane, ponieważ urządzenie wytrzymuje ciągłą pracę bez zmęczenia termicznego czy uszkodzeń od gorących punktów. Mniej partii wymagających przeróbek. Stabilna liczba cząstek. Proces zachowuje się tak samo przy zmianie zmiany, jak i o północy. Co trzeba wiedzieć Montaż wymaga dopasowania wymiarów komory oraz potwierdzenia kompatybilności złączy — dostarczamy schematy interfejsu oraz mapę pinów. Grzałka osiąga parametry tylko wtedy, gdy wywiew z komory i przepływ chłodziwa odpowiadają warunkom nominalnym. Zmiany w przepływie powietrza wpłyną na jednorodność. Pierwszą prewencyjną kontrolę ustaw na 2 000 godzin, aby zweryfikować kalibrację temperatury i czystość. Następnie można wydłużać interwały na podstawie własnych danych dotyczących dryftu.