Сокращение выбросов углерода при сушке пластин для производства MEMS-датчиков
Мы заменили старые, неэффективные конвекционные печи на инфракрасные нагреватели для сушки пластин с MEMS-датчиками. Цель проста: быстрее удалить воду с пластины и сократить потребление энергии.
Если вы когда-либо работали на производстве, вы знаете, сколько энергии требуется для нагрева большого объема воздуха ради сушки небольшого кусочка кремния. Это является расточительством. Переход к «зеленому производству» означает именно прекращение такой траты энергии.
Как работают инфракрасные нагреватели
Давайте представим ситуацию так: при традиционной сушке нагревается весь помещение. Инфракрасные нагреватели воздействуют только на саму пластину. Мы используем нагреватели с коротковолновым излучением, поскольку они способны проникать через слой влаги. Это способствует мгновенной испаряемости воды. Таким образом, время сушки сокращается с минут до секунд. К тому же нагреватель работает только тогда, когда он действительно нужен. Не приходится платить за работу нагревателя, который просто стоит без дела весь день.
Проблемы, связанные с использованием инфракрасных нагревателей
Все не так просто. Чтобы достичь необходимой интенсивности нагрева для сушки пластин, мы используем высокомощные кварцевые лампы. Они должны быть очень прочными, так как постоянно переходят от холодного состояния к крайне высокой температуре. Мы также используем специальные покрытия, чтобы тепло достигало самой пластины, а не корпуса оборудования. Не хочется же, чтобы оборудование расплавилось в процессе сушки.
Еще одной проблемой является возникновение «точек повышенной температуры». Если лампы расположены неправильно, происходит неравномерная сушка. Мы решили эту проблему, изменив форму отражателей, чтобы тепло распределялось равномерно по поверхности пластины размером 200 мм или 300 мм.
Почему это важно для планеты
В конечном итоге речь идет о сокращении выбросов углерода. Сокращая общее количество энергии, потребляемое на сушку одной пластины, мы значительно сокращаем свои выбросы. Нам больше не нужны мощные системы вентиляции для удаления лишнего горячего воздуха. Меньше энергии — меньше CO2. Это простой и эффективный способ сделать процесс сушки пластин более экологичным.