Прекратите использовать обычные нагреватели для обработки оборудования: существует более эффективный способ управления теплом в полупромышленном оборудовании.
На производствах по производству полупроводников постоянно возникают проблемы: необходимо нагреть пластину или базовую поверхность, но при этом не следует повредить внутренние части оборудования.
Обычные радиационные нагреватели создают много лишнего тепла. Они рассеивают тепло во всех направлениях. В результате корпус оборудования становится слишком горячим, что представляет опасность для персонала. Это серьезная проблема.
Поэтому мы используем нагревательные лампы с ультравысокой степенью чистоты.
Как это работает? Можно считать обычную лампу светильником в комнате – она излучает свет во все стороны. Нагревательные лампы с ультравысокой степенью чистоты работают иначе. Они используют специальные отражатели для направления инфракрасной энергии в одном конкретном направлении.
Это похоже на переход от фонаря к прожектору. Благодаря узкому лучу тепло достигает именно того места, где это необходимо. Таким образом, на поверхности пластины достигается нужная температура, а стенки оборудования остаются прохладными. Их можно даже касаться.
Чистота – ключевой фактор Но дело не только в тепле. В этой отрасли главным врагом является загрязнение. Мы используем высококачественный синтетический кварц, который не позволяет металлическим ионам выделяться во время процесса нагрева. Если требуется даже 99,999% чистоты, то обычная галогеновая лампа может привести к катастрофическим последствиям. Она может испортить всю партию продукции.
Еще один важный момент: эти лампы потребляют большое количество энергии в очень малом объеме. Поэтому напряжение должно быть стабильным. Если напряжение снижается, возникают проблемы с освещением или появляются холодные зоны на поверхности пластины.
Компромиссы Ультравысокоэффективное нагревание имеет свои недостатки. Нельзя просто поместить такие лампы в любую корпусу. Геометрия отражателей должна быть идеальной. Если лампа расположена даже на несколько миллиметров не там, где нужно, на поверхности пластины появятся горячие точки.
Требуется некоторое терпение для настройки креплений ламп, но как только луч будет точно попадать в центр цели, все становится гораздо проще.