ในโรงงานผลิต ขั้นตอนการอบฟอโตรีซิสต์ไม่ใช่เพียงการอุ่นเครื่องเท่านั้น แต่เป็นขั้นตอนสำคัญในกระบวนการผลิตด้วย หากปรับอุณหภูมิในการอบให้สูงขึ้นเพียง 1°C เท่านั้น ก็จะทำให้ค่า CD เปลี่ยนแปลง มุมของผนังด้านข้างเปลี่ยนไป และความหนาแน่นของข้อบกพร่องก็จะเพิ่มขึ้นด้วย ท่อนำความร้อนที่ทำจากควอตซ์จึงต้องสามารถสร้างความร้อนได้อย่างสม่ำเสมอ โดยไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ และไม่มีความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
เราออกแบบท่อนำความร้อนเหล่านี้ให้สามารถรักษาอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอ โดยมีความแม่นยำอยู่ที่ ±0.1°C ซึ่งช่วยให้อุณหภูมิคงที่แม้ในสภาพที่มีภาระการทำงานเปลี่ยนแปลงไป รังสีอินฟราเรดชนิดคลื่นกลางช่วยให้มีการตอบสนองที่รวดเร็ว ทำให้เวลาในการอบลดลง และเวลาหนึ่งรอบในการผลิตก็ยังคงคงที่
ทำไมท่อนำความร้อนนี้ถึงใช้งานได้ดีในกระบวนการผลิต
ในเตาอบสำหรับการผลิต จำเป็นต้องมีความร้อนที่เชื่อถือได้ตลอดเวลา ท่อนำความร้อนเหล่านี้ช่วยรักษาค่าของฟอโตรีซิสต์ให้คงที่ ลดการต้องแก้ไขผลิตภัณฑ์ และช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการผลิต ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิช่วยให้ขั้นตอนการทดสอบสั้นลง และช่วยให้สามารถควบคุมค่าต่างๆ ได้อย่างดี
การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะสามารถกู้คืนความร้อนได้อย่างรวดเร็ว และมีการสูญเสียความร้อนน้อยลง นอกจากนี้ ยังช่วยลดการต้องซ่อมแซมเตาอบบ่อยๆ อีกด้วย เนื่องจากท่อนำความร้อนมีอายุการใช้งานหลายพันชั่วโมง และสามารถคาดการณ์เวลาที่ต้องเปลี่ยนได้
สิ่งที่ต้องระวัง
ความแม่นยำในการติดตั้งมีความสำคัญมาก ต้องมีการจัดวางท่อนำความร้อนให้ถูกต้อง และมีแรงกดที่เหมาะสม มิฉะนั้นจะเกิดจุดร้อนขึ้น และทำให้อายุการใช้งานลดลง ก่อนเปลี่ยนท่อนำความร้อน ต้องตรวจสอบความเข้ากันได้ของแรงดันไฟฟ้าและตัวเชื่อมต่อด้วย นอกจากนี้ ยังต้องตรวจสอบว่ากระแสอากาศและการป้องกันความร้อนในเตาอบยังคงเหมือนเดิมหรือไม่ เพราะความสม่ำเสมอของอุณหภูมิขึ้นอยู่กับระบบโดยรวม ไม่ใช่เพียงแค่ท่อนำความร้อนเท่านั้น