Üretim alanında “yapıştırıcı kurutma işlemi”, sadece basit bir ısıtma işlemi değildir. Bu, verimi doğrudan etkileyen bir termal kontrol sürecidir. Aynı disiplin, foto direnç malzemelerinin yumuşak ve sert şekilde ısıtılması için de geçerlidir; sıcaklık değerlerinin sabit olması gerekiyor. Die-attach yapıştırıcıları için de aynı tutarlılık gereklidir. Eğer sıcaklık kontrolü sağlanamazsa, paketleme sırasında kenarlarda bozulmalar, zayıf yapışma ve tork eksiklikleri ortaya çıkar.
Sisteme entegre ettiğimiz özellikler
Bu kızılötesi kurutma işlemini, yapıştırıcının emilim bantlarına uygun olan yakın kızılötesi (NIR) kaynaklar kullanarak gerçekleştiriyoruz. Böylece enerji gerekli yerlere hızlı bir şekilde ulaşır ve substratın zarar görmesi engellenir. Sıcak alan, wafer üzerinde ±0,1°C’lik bir düzgünlük sağlar. Ayrıca, odanın Class 1–100 temiz oda standartlarına uygun olarak tasarlandığından, parçacık üretimi en aza indirilmiştir. Sürekli tekrarlanan ısıtma işlemleri sayesinde litografi süreçleri ve yapıştırıcı kurutma işlemleri belirlenen standartlar içinde kalır.
Üretimde neden başarılı oluyor?
Gerçek üretimde, bu yöntem sayesinde daha stabil boyutlar elde edilir ve yeniden işleme ihtiyacı azalır. NIR ışınları, yapıştırıcı katmanlarını daha eşit şekilde ısıtarak termal stresi azaltır ve bağlantı noktalarında yetersiz kuruma sorunlarını önler. Daha kısa ısıtma döngüleri mümkün olur; ayrıca konveksiyon tipi fırınlara kıyasla daha az gaz tüketimi olur. Bütün bunlar, daha az atık wafer, öngörülebilir çalışma süresi ve her wafer başına daha az enerji tüketimi anlamına gelir.
Dikkat edilmesi gerekenler
NIR kurutma işlemi için görüş hattı önemlidir; bu yüzden parçanın geometrisi ve gölgelenme durumu önem taşır. Yüksek özelliklere sahip paketlerin tamamen kuruması için kısa bir ısıtma süreci veya ikinci bir kurutma adımı gerekebilir. Lamba dizilimini ve optik sistemleri, kenarlarda oluşabilecek sorunları en aza indirecek şekilde ayarlıyoruz; ancak yine de işlem geliştirme sırasında kullanılan substratın özelliklerini doğrulamanız gerekmektedir.