Ambalaj alanında
Bir CSP ısıtıcısının durması bütün hattı durdurur. Planlanmamış her dakika, hurdaya çıkan waferlar ve kaybolan kâr anlamına gelir. Wafer düzeyinde CSP ısıtıcımızı, arıza vermeden 7×24 çalışacak şekilde tasarladık, çünkü verim peşindeyken, çalışma süresi her şeyden önce gelir.
Teknik Olarak Ne Önemli
Wafer üzerinde ±0.1°C sıcaklık homojenliği hedefliyoruz, bu nedenle her foto direnç yumuşak pişirme ve sert pişirme, termal bütçe içinde kalır - kenar yanlılığı yok. Sınıf 1’den Sınıf 100’e kadar temiz oda hazırdır ve ısıtıcı geometrisi sıfır partikül üretimi için tasarlanmıştır. Ekstra temizleme yok. Verim kaybı yok.
Tekrar edilebilirlik, ayar noktalarını döngü döngü koruyan stabil, kapalı döngü sıcaklık profili ile sağlanır. Bakım süreleri, on binlerce saat ile ölçülerek planlanmalıdır, binlerce saat ile değil ve tahmin edilebilir bakım aralıkları vardır.
Bunun Wafer Düzeyinde CSP’de Neden İşe Yarıyor
Wafer düzeyinde CSP’de sıcaklık tekrar edilebilirliği, bağ bütünlüğünü, deformasyon kontrolünü ve litografi sonrası tutarlı hat genişliklerini elde etmenizi sağlar. Drift peşinde koşmadan spesifikasyon limitlerini sıkılaştırabilirsiniz.
Enerji kullanımı düşer çünkü ısıtıcı, ayar noktasına hızlı bir şekilde ulaşır ve ardından temiz bir şekilde bekler. Planlanmamış duruşlar, birimin termal yorgunluk veya sıcak nokta arızaları olmadan sürekli çalışmayı sürdürmesiyle azalır. Daha az yeniden işleme partisi. Stabil partikül sayıları. Süreç, vardiya değişiminde olduğu gibi gece yarısı da aynı şekilde davranır.
Bilmeniz Gerekenler
Kurulum, odanın ayak izini eşleştirmek ve konnektör uyumluluğunu doğrulamak anlamına gelir - arayüz çizimlerini ve pin haritasını sağlıyoruz. Isıtıcı, yalnızca odanın egzoz ve soğutma akışı, belirtilen koşullara uyduğunda spesifikasyon dahilinde performans gösterir. Hava akışı değişiklikleri, homojenliği etkiler.
İlk önleyici kontrolü 2,000 saatte ayarlayın, böylece sıcaklık kalibrasyonunu ve temizliği doğrulayın. Bunun ardından, kendi ölçülen drift verilerinize dayanarak aralıkları uzatabilirsiniz.