На виробничій лінії відхилення температури не є просто причиною для ремонту. Це може призвести до зупинки процесу виробництва – від етапу нагрівання до сушіння пластин. Щоб профілі фотополімерів залишалися стабільними, а процес сушіння не мав дефектів, необхідна висока точність контролю температури в дуже вузькому діапазоні. Коли оригінальне обладнання старіє, цей діапазон зменшується, що, у свою чергу, впливає на якість продукції.
Важливо також мати можливість заміни компонентів без зміни всієї конструкції обладнання. Ми створюємо замінні компоненти, які можна використовувати разом із оригінальним обладнанням Lam Research. Рівномірність температури на рівні пластини становить ±0,1°C, а сумісність з чистими приміщеннями – від класу 1 до 100. Профілі короткохвильового чи середньохвильового інфрачервоного випромінювання налаштовуються так, щоб вони відповідали температурним параметрам фотополімерів. Використання кварцових та керамічних елементів з герметичними з’єднаннями забезпечує відсутність частинок у повітрі. Сила струму та напруга відповідають параметрам обладнання, а тип з’єднань, допуски установки та теплова реакція також відповідають параметрам оригінального обладнання.
Це забезпечує стабільність процесу виробництва. Ви можете зберегти той самий час виконання процесу, ті самі профілі нагрівання та ту саму якість результатів літографії – немає потреби переоправдовувати всю систему. Споживання енергії залишається в межах заданих параметрів, а надійність обладнання забезпечується завдяки контролю температури під час кожного циклу роботи. У результаті менше неспланованих простоїв та стабільний контроль критичних параметрів якості.
Кілька порад щодо використання: під час встановлення необхідно перевірити з’єднання обладнання та правильність розташування термопар – якщо їх розташування буде неправильним, профілі температури будуть змінюватися. Після заміни необхідно провести короткий тест для перевірки якості продукції. Ми постачаємо замінні компоненти як готові до використання, тож ви можете їх встановити без необхідності зміни конструкції обладнання чи процесу виробництва.