На поверхні пластини напівградусна відхилення під час процедури „м’якого просушування“ фотополімеру не є тривіальною проблемою. Це призводить до зміни ширини ліній, затримки висихання розчинника та зниження якості продукції – чого неможливо пояснити жодним аудитом. Ми створили спеціальні модулі для процедури „м’якого просушування“, щоб усунути цю невизначеність. Адже для сушіння пластин та обробки фотополімеру потрібна точка нагріву, яка можна передбачити, а не лише припускати її значення.
Що є важливим у цьому процесі
Ми підбираємо емітери короткохвильового інфрачервоного випромінювання так, щоб вони відповідали діапазону поглинання розчинників фотополімеру. Таким чином енергія потрапляє безпосередньо в шар фотополімеру, без перегріву самої пластини. Результатом є швидке та однорідне нагрівання з точністю до ±0,1°C по всій поверхні пластини. Контроль здійснюється за допомогою каліброваних датчиків та теплового профілю, який можна налаштувати відповідно до конкретної процедури – чи то м’яке, чи жорстке просушування. Система працює у умовах чистої кімнати класу 1–100, що запобігає утворенню частинок на поверхні пластини.
Ось чому цей підхід є ефективним на практиці.
Під час сушіння пластин інфрачервоне випромінювання забезпечує швидке та однорідне нагрівання, що допомагає ефективно видалити залишкову вологу. Під час обробки фотополімеру така ж точність забезпечує стабільну в’язкість, однорідну товщину шару та можливість контролю критичних розмірів. Це також корисно під час процедур висихання та очищення пластин, адже тепловий процес залишається стабільним з серії до серії. Ефективність системи полягає у можливості її безперервної роботи 24/7 з мінімальним обслуговуванням. Це також дозволяє зменшити кількість відходів та складність корекції процесів після змін температури.
Кілька практичних порад.
Ефективність процедури нагрівання залежить від підбору спектру випромінювання відповідно до хімічного складу фотополімеру та від наявності чіткого огляду на поверхню пластини. Орієнтація пластини, умови на її зворотній стороні та система відведення пар також можуть впливати на однорідність нагріву. Тож ми рекомендуємо провести кілька тестових процедур для налаштування параметрів. Після цього процес залишається під контролем – менше теплових коливань, менше несподіванок під час виробництва.