Припиніть нагрівання повітря: розумніший спосіб експлуатації чистих приміщень
Якщо ми справді хочемо досягти цілей щодо вуглецевої нейтральності на заводах з виробництва напівпровідників, нам потрібно припинити користуватися традиційними конвективними печами. Уявіть собі: такі печі нагрівають всю кімнату – повітря, стіни, все навколо – лише для того, щоб досягти потрібної температури поверхні пластини. Це значна втрата енергії.
Саме тут на допомогу приходить інфрачервоне опалення. Замість того, щоб нагрівати всю кімнату, ми використовуємо інфрачервоне випромінювання для прямого нагрівання поверхні пластини. Це більш ефективно, а також дозволяє уникнути втрат енергії, які призводять до збільшення вуглецевого сліду заводу.
Як це функціонує
Інфрачервоні лампи концентрують тепло саме там, де це необхідно. Таким чином можна позбутися великих вентиляторів та громіздких елементів опалення, які споживають багато електроенергії.
Крім того, можна регулювати довжину хвиль, щоб контролювати глибину проникнення тепла. Таким чином не витрачається енергія на нагрів корпусу обладнання. Крім того, процес нагрівання відбувається дуже швидко. Це означає менше часу, витраченого на очікування, та більше часу на сам процес обробки деталей.
Проблеми
Однак не можна просто поставити інфрачервоні лампи в чисте приміщення та все. Забруднення частинок є серйозною проблемою, тож ми використовуємо кварцові корпуси та спеціальні покриття, щоб запобігти витоку частинок під час нагрівання.
Також потрібно стежити за системою охолодження. Інфрачервоні лампи створюють велику кількість тепла, тож якщо система охолодження не є достатньо потужною, корпус обладнання буде нагріватися, що може порушити процес обробки деталей. Цього ніхто не хоче.
Які переваги це дає
У кінцевому підсумку споживання енергії на одну пластину значно зменшується. Обладнання також займає менше простору, адже не потрібні великі ізольовані корпуси печей, які займають половину приміщення. Для інженерів це дуже зручно – можна досягти цілей „Зеленого заводу“ без зниження швидкості виробництва. Це означає швидші цикли обробки, менше споживання електроенергії на одиницю продукції та менший тиск на електромережу.