لیتھوگرافی کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کے نرم بیکنگ عمل میں آدھے ڈگری کا فرق بھی نظرانداز نہیں کیا جاسکتا۔ اس کی وجہ سے لائنوں کی چوڑائی میں تغیر، حل کا باقی رہنا، اور پیداوار میں کمی واقع ہوتی ہے؛ اور یہ مسائل کسی آڈٹ سے حل نہیں ہوسکتے۔ ہم نے اپنے IR سافٹ بیکنگ ماڈیولز کو اس غیریقینی صورتحال کو دور کرنے کے لئے تیار کیا ہے، کیوں کہ ویفر کو خشک کرنے اور فوٹوریزسٹ کو پروسس کرنے کے لئے مستقل درجہ حرارت کی ضرورت ہے، نہ کہ قیاس آرائیوں کی۔
بنیادی اہمیت
ہم مختصر-ترچھی لہروں والے انفراریڈ ایمیٹرز کو عام فوٹوریزسٹ حلوں کے جذب کرنے کے دائرے سے مطابقت دیتے ہیں، تاکہ توانائی براہ راست فلم میں جائے، اور سبسٹریٹ گرم نہ ہو۔ اس کے نتیجے میں تیز رفتار، بغیر کسی رابطے کے حرارتی عمل ہوتا ہے، اور ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C ہوتی ہے۔ کنٹرول بند لوپ کے ذریعے ہوتا ہے، جس میں کیلیبریٹڈ سینسرز اور تھرمل پروفائل کا استعمال کیا جاتا ہے؛ اس طرح آپریٹر کی غلطیوں سے بچا جاسکتا ہے۔ یہ سسٹم کلین روم کلاس 1–100 میں کام کرتا ہے، اور اس میں کسی قسم کے ذرات کی پیداوار نہیں ہوتی، جس سے ویفر پر دوشیں کم ہوتی ہیں۔
یہی وجہ ہے کہ یہ طریقہ عملی طور پر کامیاب ہے۔
ویفر کو خشک کرنے کے عمل میں، انفراریڈ کی وجہ سے تیز اور یکساں حرارت پیدا ہوتی ہے، جس سے باقی ماندہ نمی جلدی اور مستقل طور پر خارج ہوجاتی ہے۔ فوٹوریزسٹ کے بیکنگ عمل میں بھی یہی درستگی استعمال ہوتی ہے، جس سے چپچپاپن، موٹائی، اور کریٹیکل ڈائمینشنز میں یکسانیت حاصل ہوتی ہے۔ پیکیجنگ اور صفائی کے عمل میں بھی یہ فائدہ مند ہے، کیوں کہ حرارتی عمل ہر بار یکساں رہتا ہے۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرتا ہے، اور کم سے کم دیکھ بھال کی ضرورت ہے؛ اس طرح دوبارہ کام کرنے، فضول کاموں، اور حرارتی تغیرات کی وجہ سے پیدا ہونے والے اخراجات کم ہوتے ہیں۔
کچھ عملی نکات
IR بیکنگ کی کارکردگی، ایمیٹر کے سپیکٹرم کو فوٹوریزسٹ کی خصوصیات سے مطابقت دینے، اور ویفر کی سطح پر واضح نظر رکھنے پر منحصر ہے۔ لوڈ کی سمت، ویفر کی پشت کی حالت، اور گیسوں کی نکاسی کا نظام بھی ویفر کی سطح پر یکسانیت کو متاثر کرسکتا ہے؛ اس لئے ہم تجویز کرتے ہیں کہ عمل کو حتمی شکل دینے کے لئے ایک مخصوص جگہ پر ٹیسٹ کیا جائے۔ ایک بار یہ عمل مکمل ہوجائے، تو عمل مستقل طور پر کنٹرول میں رہتا ہے – حرارتی تغیرات کم ہوجاتے ہیں، اور روزانہ کی پیداوار میں کوئی مشکلات نہیں آتیں۔