Trong quy trình sản xuất, việc “khử ẩm bằng nhiệt” không đơn giản chỉ là một bước xử lý thông thường. Đó là một quy trình đòi hỏi sự kiểm soát chính xác về nhiệt độ – yếu tố ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng sản phẩm. Nguyên tắc này cũng được áp dụng trong quy trình xử lý lớp phủ quang học: nhiệt độ phải được duy trì ở mức ổn định. Các loại keo dùng để gắn các linh kiện cũng đòi hỏi sự ổn định về nhiệt độ tương tự. Nếu nhiệt độ trong khu vực xử lý thay đổi, điều đó sẽ dẫn đến tình trạng keo không bám chắc vào bề mặt linh kiện, gây ra các vấn đề liên quan đến khả năng kết dính.
Những gì chúng tôi đã tích hợp vào hệ thống
Chúng tôi sử dụng nguồn ánh sáng hồng ngoại gần để xử lý keo, sao cho năng lượng được truyền đến đúng vị trí cần thiết – một cách nhanh chóng và hiệu quả, mà không gây tổn hại cho bề mặt linh kiện. Khu vực xử lý có độ ổn định nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer. Buồng xử lý được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch loại 1–100, giúp giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi. Sự ổn định về nhiệt độ giúp đảm bảo rằng quy trình xử lý keo diễn ra đúng theo tiêu chuẩn.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong sản xuất
Trong quá trình sản xuất thực tế, phương pháp này giúp đảm bảo độ chính xác của các kích thước quan trọng của linh kiện, đồng thời giảm số lượng sản phẩm cần sửa chữa. Ánh sáng hồng ngoại giúp xử lý các lớp keo một cách đều đặn, từ đó giảm căng thẳng nhiệt và ngăn chặn tình trạng keo không được xử lý đầy đủ ở các vị trí cần thiết. Phương pháp này giúp rút ngắn thời gian xử lý, giảm mức tiêu thụ năng lượng so với các phương pháp sử dụng lò nhiệt thông thường, đồng thời đảm bảo độ bền của các mối nối giữa các linh kiện. Nhờ đó, số lượng wafer bị hỏng giảm, thời gian hoạt động của máy móc ổn định hơn, và mức năng lượng tiêu thụ trên mỗi wafer cũng giảm.
Những điều cần lưu ý
Phương pháp xử lý bằng ánh sáng hồng ngoại yêu cầu phải có tầm nhìn rõ ràng giữa nguồn sáng và bề mặt linh kiện; do đó, hình dạng của linh kiện và các yếu tố ảnh hưởng đến tầm nhìn cũng rất quan trọng. Các linh kiện có các chi tiết cao có thể cần thêm bước xử lý nữa để đảm bảo mối nối được tạo ra một cách hoàn hảo. Chúng tôi thiết kế hệ thống đèn và các thành phần quang học sao cho giảm thiểu tình trạng năng lượng bị tỏa ra ở các vùng mép. Tuy nhiên, bạn vẫn cần kiểm tra lại thông số kỹ thuật trên từng loại linh kiện trong quá trình phát triển quy trình sản xuất.