Hãy ngừng chờ đợi nữa: Tại sao phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại lại hiệu quả
Hầu hết các nhà máy sản xuất chất bán dẫn vẫn còn sử dụng không khí nóng để xử lý, làm khô và nung các tấm wafer. Tôi thường thấy điều này xảy ra. Vấn đề nằm ở chỗ: không khí không thể truyền nhiệt hiệu quả. Bạn sẽ phải mất rất nhiều thời gian chờ đợi cho buồng xử lý được làm nóng, thay vì dành thời gian để xử lý các tấm wafer. Đó là một công việc vô cùng khó khăn.
Quy trình “chờ đợi”
Hãy tưởng tượng xem không khí nóng hoạt động như thế nào. Nhiệt lượng phải di chuyển từ nguồn phát nhiệt sang không khí, rồi mới đến tấm wafer. Đó là một quá trình chậm chạp. Sự chậm trễ này khiến quy trình xử lý bị gián đoạn.
Phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại loại bỏ được bước trung gian này. Năng lượng được truyền trực tiếp đến tấm wafer thông qua bức xạ điện từ. Quá trình này diễn ra gần như ngay lập tức. Chúng tôi đã thấy thời gian xử lý giảm từ 60% đến 80% chỉ bằng cách thay thế phương pháp sưởi ấm bằng không khí nóng bằng phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại. Nếu bạn đang điều hành một nhà máy sản xuất chất bán dẫn, đây không phải là một lý thuyết hay ho gì cả. Đó là cách để tăng số lượng tấm wafer được xử lý mỗi giờ.
Thực tế
Tuy nhiên, tia hồng ngoại cũng không phải là phép màu. Bạn không thể chỉ cắm nó vào nguồn điện rồi bỏ mặc nó. Vì tia hồng ngoại có sức mạnh lớn, bạn cần phải cẩn thận. Nếu tấm wafer có độ dày không đều hoặc không thể hấp thụ nhiệt một cách đồng đều, bạn sẽ gặp phải tình trạng nóng quá mức. Chỉ cần một sai sót nhỏ thôi cũng có thể làm hư hỏng tấm wafer của bạn. Bạn cần dành thời gian để điều chỉnh khoảng cách giữa bóng đèn và tấm wafer, cũng như mức công suất phù hợp.
Lợi ích của phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại
Một điểm mà tôi thích ở phương pháp này là nó giúp tiết kiệm không gian. Bạn không cần dùng đến những chiếc quạt lớn hay hệ thống ống dẫn khí phức tạp nữa. Bạn chỉ cần bóng đèn và hệ thống điều khiển hoạt động tốt là được.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: phương pháp này đòi hỏi lượng điện năng lớn. Các bóng đèn sưởi ấm bằng tia hồng ngoại tiêu thụ rất nhiều điện năng, vì vậy bạn cần đảm bảo rằng hệ thống điện của bạn có thể đáp ứng được lượng điện năng cần thiết. Ngoài ra, bạn cũng cần chú ý đến hệ thống làm mát. Nếu hệ thống làm mát không hoạt động tốt, nhà máy của bạn sẽ trở nên quá nóng. Hãy giải quyết vấn đề này, và bạn sẽ loại bỏ được rào cản nhiệt độ phiền toái này.