Giảm lượng khí carbon trong quy trình sản xuất bán dẫn: Tại sao công nghệ tia hồng ngoại chân không lại hiệu quả? Hãy thành thật mà nói: những lò nung truyền thống tiêu tốn rất nhiều năng lượng. Chúng phải sử dụng một lượng điện khổng lồ để làm nóng toàn bộ buồng nung – kể cả các bức tường – chỉ để đạt được nhiệt độ cần thiết cho wafer. Điều này giống như việc làm nóng cả ngôi nhà chỉ để hâm nóng một cốc cà phê. Đó là sự lãng phí năng lượng. Và với những quy định ngày càng nghiêm ngặt về các nhà máy xanh, điều này trở thành một vấn đề lớn. Đó chính là lúc công nghệ tia hồng ngoại chân không ra đời. Thay vì làm nóng toàn bộ buồng nung, chúng ta chỉ cần làm nóng trực tiếp wafer thôi. Cơ chế hoạt động của công nghệ này Khi làm việc trong môi trường chân không, hiện tượng đối lưu không còn xảy ra nữa. Chúng ta hoàn toàn dựa vào bức xạ để làm nóng wafer. Chúng ta điều chỉnh bước sóng của tia hồng ngoại sao cho phù hợp với khả năng hấp thụ năng lượng của silic hoặc galium nitride. Nhờ vậy, năng lượng được truyền trực tiếp vào wafer, không bị lãng phí vào việc làm nóng các bức tường buồng nung. Do đó, mức tiêu thụ điện năng giảm đáng kể. Về mặt thiết bị Chúng ta sử dụng thủy tinh thạch anh và dây tóc wolfram có độ tinh khiết cao để chế tạo các bóng đèn này. Nhưng vì chúng hoạt động trong môi trường chân không, chúng ta phải chú ý rất kỹ đến việc đảm bảo tính kín khít của các bộ phận. Nếu có sự rò rỉ khí, wafer sẽ bị ô nhiễm. Và chẳng ai muốn wafer bị hỏng cả. Tuy nhiên, cũng có một bất lợi: chúng ta phải chứa một lượng năng lượng lớn trong một không gian nhỏ. Điều này gây áp lực lớn lên hệ thống cung cấp điện. Nếu chúng ta vận hành chúng ở mức tối đa, chúng ta phải đảm bảo rằng hệ thống làm mát hoạt động tốt. Nếu không, các bóng đèn sẽ bị hư hỏng, và đó là điều mà chẳng ai muốn gặp phải. Kết luận Việc chuyển sang sử dụng công nghệ tia hồng ngoại chân không giúp chúng ta không cần phải dựa vào những bộ phận gia nhiệt khổng lồ, vốn tiêu tốn nhiều năng lượng sau khi công việc kết thúc. Giờ đây, hệ thống chỉ tiêu thụ nhiều điện năng khi thực sự cần thiết. Đối với nhiều hệ thống, đây là giải pháp đơn giản để thay thế các phương pháp gia nhiệt truyền thống. Bạn sẽ có hiệu suất cao hơn và chi phí tiết kiệm năng lượng cũng thấp hơn. Chỉ cần lưu ý rằng bạn phải đảm bảo rằng các máy bơm chân không có khả năng đối phó với áp lực nhiệt độ cao, để tránh làm hỏng các bộ phận của hệ thống.