别再等待烤箱升温了：为什么红外线加热如此高效
大多数半导体制造厂仍然依赖热空气来进行工件的固化、干燥和焙烧处理。我经常看到这种情况。问题很简单：空气其实很不适合传递热量。因此，人们不得不花费大量时间等待反应室升温，而实际用于处理晶圆的时间却很少。这真是效率极低的做法。
“等待的时间”
想想热空气的工作原理吧。热量必须从加热元件传递到空气中，然后再传到工件上。这是一个缓慢的过程，这种延迟会大大降低工作效率。
而红外线加热则省去了这个中间环节。它通过电磁辐射直接将能量传递到目标物体上。这个过程几乎是瞬间的。我们发现，只要用红外线替代传统对流加热方式，加工时间就能减少60%到80%。对于那些经营制造工厂的人来说，这可不是什么复杂的理论，而是为了让每小时的产出量增加而已。
现实情况
不过，红外线也不是什么神奇的解决方案。你不能简单地把它接上电源就不管了。
因为红外线的加热强度非常高，所以必须小心翼翼。如果工件的厚度不均匀，或者无法均匀吸收热量，那么就会出现局部过热的情况。稍有不慎，晶圆就会被烧坏。因此，你需要花费一些时间来调整灯的距离和功率，以获得最佳效果。
优势所在
我喜欢红外线加热的一点是它能节省空间。你不需要那些庞大的鼓风机和复杂的管道系统来输送热空气。只需要灯具以及一个有效的控制装置即可。
但缺点也是显而易见的：红外线加热需要大量的电力。高功率的红外灯会消耗大量电流，所以你务必确保电路能够承受这种负荷。此外，还要注意散热问题。如果系统的散热能力不足，整个工厂的温度就会变得过高。解决好散热问题，就能消除那个令人头疼的热延迟问题了。