别再让柜壁承受过高的热量了
大多数加热元件都会向各个方向散发热量。在半导体加工设备中，这是个大问题——因为这样会浪费大量电能，同时还会使设备的内壁变成巨大的散热器。
当这些内壁变得过热时，就麻烦了。一来，可能会损坏那些敏感的电子元件；二来，操作人员也有可能被烫伤。
为了解决这个问题，我们采用了定向红外灯。
将热量集中在需要的地方
可以把它想象成手电筒，而不是普通灯泡。普通灯泡会照亮整个房间，而定向红外灯则能将光线集中到特定区域。
通过使用特殊的石英涂层和反射器，我们可以将热能直接作用于工件上。这样一来，就不会出现整个腔室都变热的情况。这样，晶圆或基材就能获得所需的热量，而设备外壳则保持凉爽状态。这才是更聪明的做法。
为什么不用便宜的电线
高功率的红外灯会产生极高的温度。如果使用普通的PVC电线，一旦接触到高温部件或距离它太近，电线就会熔化或开始冒烟。没人愿意处理这种状况。
因此，我们使用涂有特氟龙材料的电线。这种电线能够承受高温，而且不会因为在化学环境中受到影响而损坏。此外，它还能让我们把电线布置在那些容易与高温表面接触的地方，从而避免电线被烧毁。使用低质量的绝缘材料会导致短路，进而造成高昂的维修成本。道理很简单。
现实中的权衡
没有什么是完美的。定向加热虽然能让目标材料获得更高的热量，但也会给材料带来更大的压力，因为热量集中程度非常高。
因此，必须小心控制PID控制器。如果不精确控制的话，就可能导致温度过高，从而毁掉工件。
另外，关于电线的使用，虽然特氟龙材料很耐用，但它比硅胶更硬。所以，在把电线穿过框架时，应尽量让电线的弯曲半径更大一些，否则金属部分最终会因为疲劳而断裂。