তাপ নিয়ন্ত্রণ: কেন ওজোন-মুক্ত ইনফ্রারেড ব্যবহার করা উচিত?
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখা খুবই কঠিন। সাধারণত, তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করার চেষ্টায় পরিবেশগত সমস্যার মুখোমুখি হতে হয়। এই সমস্যা সমাধান করার জন্য আমরা ওজোন-মুক্ত ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করেছি। এটা হলো প্রয়োজনীয় তাপ পাওয়ার জন্য একটি সহজ উপায়।
“স্ট্যান্ডার্ড” আলোর সমস্যা
বেশিরভাগ শর্টওয়েভ ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো ১৮৫ ন্যানোমিটার থেকে ২৫৪ ন্যানোমিটার পর্যন্ত তরঙ্গদৈর্ঘ্যের বিকিরণ নির্গত করে। এটা হয়তো কোনো গুরুত্বপূর্ণ তাংত্রিক বিষয় মনে হতে পারে; কিন্তু এটাই আসল সমস্যা। এই ধরনের আলো বাতাসের অক্সিজেনকে ওজোনে রূপান্তরিত করে।
ওজোন খুবই ক্ষতিকারক। এটা একটি গ্রিনহাউস গ্যাস; এটা ক্লিনরুমের যন্ত্রপাতিগুলোকে ক্ষতিগ্রস্ত করে। এটা কোনোভাবেই ভালো নয়।
এটা রোধ করার জন্য আমরা বিশেষ ধরনের কোয়ার্টজ আবরণ ও অভ্যন্তরীণ কোটিং ব্যবহার করি। এগুলো ফিল্টারের মতো কাজ করে সমস্যাজনক তরঙ্গদৈর্ঘ্যগুলোকে আটকে দেয়। এভাবে আপনি ওয়েফারগুলোকে গরম করার জন্য প্রয়োজনীয় তাপ পান; কিন্তু ওজোন তৈরি হওয়া আগেই এটা রোধ হয়।
শক্তি, গতি এবং “তাপ নিয়ন্ত্রণ” সমস্যা
আমরা শর্ট টিউবগুলোতে অধিক শক্তি সরবরাহ করতে চাই। কেন? কারণ উচ্চ-ঘনত্বের ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো দ্রুত উত্তপ্ত হয়। এর ফলে প্রতি ওয়েফারের জন্য কম কিলোওয়াট-ঘণ্টা খরচ হয়—এটা সবার জন্যই উপকারী। আমরা এই সিস্টেমগুলোকে দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেওয়ার জন্য ডিজাইন করি; যাতে আপনি ভুলবশত নির্ধারিত তাপমাত্রা অতিক্রম না করেন।
কিন্তু এরও একটি সমস্যা আছে।
যখন এত শক্তি ছোট জায়গায় সঞ্চিত হয়, তখন চেসিসটি ক্ষতিগ্রস্ত হয়। যদি কুলিং ফ্যান বা হিট সিঙ্কগুলো যথাযথভাবে কাজ না করে, তাহলে সমস্যা দেখা দেয়। আমি এমন ঘটনা দেখেছি—যদি বায়ুপ্রবাহ দুর্বল হয়, তাহলে ল্যাম্পটি অতিরিক্ত উত্তপ্ত হয়ে যায়, ফলে ল্যাম্পটির জীবনকাল কমে যায়। আপনাকে ঠিকমতো কুলিং ব্যবস্থা করতে হবে; নইলে আপনি শুধুমাত্র অর্থ নষ্ট করছেন।
এর ফলে আপনার কারখানার অবস্থা কী হয়?
সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো, আপনার কারখানার অন্যান্য অংশগুলোর অবস্থা কী হয়।
ওজোন-মুক্ত ল্যাম্প ব্যবহার করলে আপনি সেই ভারী ও জটিল এক্সহস্ট সিস্টেমগুলো সরিয়ে ফেলতে পারেন। এর ফলে HVAC সিস্টেমের বোঝা কমে যায়, আর পুরো ভবনের শক্তি খরচও কমে যায়।
এটা খুবই সহজ একটি প্রক্রিয়া। আপনি দূষণকারী পুরানো যন্ত্রপাতিগুলো সরিয়ে ফেলে এই ল্যাম্পগুলো ব্যবহার করতে পারেন; ফলে আপনার উৎপাদন ক্ষমতা ঠিক থাকে—শুধুমাত্র কার্বন নিঃসরণ কমে যায়।