বায়ুকে উত্তপ্ত করা বন্ধ করুন: ক্লিনরুম পরিচালনার জন্য আরও কার্যকর উপায়
যদি আমরা সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ায় কার্বন নিউট্রালিটির লক্ষ্যগুলো অর্জন করতে চাই, তাহলে আমাদের পুরানো ধরনের হিটিং সিস্টেমগুলোর উপর নির্ভর করা বন্ধ করতে হবে। ভাবুন তো—এই সিস্টেমগুলো পুরো চেম্বারটিকে উত্তপ্ত করে দেয়; বায়ু, দেয়ালসহ সবকিছু। শুধুমাত্র ওয়েফারটিকে সঠিক তাপমাত্রায় আনার জন্যই এত শক্তি ব্যয় হয়। এটা অত্যন্ত অপচয়।
এখানেই IR হিটিং-এর ভূমিকা। পুরো ঘরটিকে উত্তপ্ত করার পরিবর্তে, আমরা ইনফ্রারেড রশ্মি ব্যবহার করে শক্তিকে সরাসরি ওয়েফারে পাঠাই। এটা অনেক কার্যকর, কম শক্তি ব্যয় হয়, আর কারখানার কার্বন ফুটপ্রিন্টও কমে যায়।
এটা কীভাবে কাজ করে?
IR ল্যাম্পগুলো তাপকে ঠিক সেখানেই পাঠায়, যেখানে দরকার। এতে বড় বড় এয়ার-সার্কুলেশন ফ্যান ও বিদ্যুৎ খরচ করে চলা হিটিং এলিমেন্টগুলোর দরকার নেই।
আরও ভালো দিকগুলো:
আমরা তরঙ্গদৈর্ঘ্য নিয়ন্ত্রণ করে তাপ কতটা গভীরে যাবে তা নিয়ন্ত্রণ করতে পারি। মেশিনের চেসিসকে উত্তপ্ত করার জন্য অতিরিক্ত শক্তি ব্যয় হয় না। আর এটা খুব দ্রুত কাজ করে। অর্থাৎ, অপেক্ষা করার সময় কমে যায়, আর পার্টস প্রসেস করার সময় বাড়ে।
কিছু ঝামেলা:
কিন্তু ক্লিনরুমে শুধুমাত্র হিটিং ল্যাম্প রাখলেই হবে না। কণাসমূহের দূষণ একটি বড় সমস্যা; তাই আমরা কোয়ার্টজ এনভেলপ ও বিশেষ কোটিং ব্যবহার করি, যাতে গরম হওয়ার সময় কোনো কণা বাইরে বের না হয়।
আর কুলিং সিস্টেমটিও ঠিক রাখতে হবে। উচ্চ-ওয়াটেজের IR ল্যাম্পগুলো অনেক তাপ উৎপন্ন করে; যদি কুলিং সিস্টেমটি যথেষ্ট শক্তিশালী না হয়, তাহলে মেশিনটি উত্তপ্ত হয়ে যাবে। এতে প্রক্রিয়াটি ব্যাহত হবে।
ফলাফল:
অবশেষে, প্রতি ওয়েফারের জন্য প্রয়োজনীয় শক্তির পরিমাণ কমে যায়। আপনার যন্ত্রপাতিগুলোও কম জায়গা দখল করে—কারণ বড় আকারের ইনসুলেটেড ওভেনগুলোর দরকার নেই। ইঞ্জিনিয়ারদের জন্য এটা খুবই সহজ। উৎপাদন গতি কমানো ছাড়াই “গ্রিন ফ্যাক্টরি” লক্ষ্যগুলো অর্জন করা যায়। ফলে কম শক্তি ব্যয় হয়, আর পাওয়ার গ্রিডের উপর চাপও কমে যায়।