৩০০ মিমি লাইনে, ওয়েফারকে পাতলা করার ক্ষেত্রে শক্তির ব্যবহার খুব কমই প্রয়োজন; বরং থার্মাল ব্যবস্থাপনাই গুরুত্বপূর্ণ। যদি সাপোর্ট হিটারটি ঠিকমতো কাজ না করে, তাহলে চাকটি গরম হয়ে যায়, আঠা নরম হয়ে যায়, এবং ওয়েফারটি বেঁকে যায়। এখানে তৎক্ষণাৎ কোনো বিপর্যয় দেখা যায় না; পরবর্তীতেই ওয়েফারে ফাটল দেখা দেয় এবং উৎপাদন কমে যায়।
কী আসলে গুরুত্বপূর্ণ?
আমাদের ওয়েফার ব্যাক গ্রাইন্ডারে ব্যবহৃত সাপোর্ট হিটারটি দ্রুত ও স্থিতিশীল ইনফ্রারেড তাপ সরবরাহ করে। উৎপাদন প্রক্রিয়ায় আমরা ওয়েফারের তাপমাত্রাকে ±০.১°C এর মধ্যে রাখি; যাতে চাকটির তাপমাত্রাও নির্ধারিত মানে থাকে। এই ডিজাইনটি ক্লাস ১ থেকে ক্লাস ১০০ পর্যন্ত সব ধরনের ক্লিনরুমেই ব্যবহারযোগ্য। প্রতিটি উপাদানই এমনভাবে নির্বাচন করা হয়েছে যাতে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না হয়—কোনো গ্যাস নির্গমন নেই, কোনো অবশিষ্টাংশ নেই। এটি ২৪/৭ কাজ করে; ফলে কোনো অপ্রত্যাশিত বন্ধ হওয়ার সম্ভাবনা নেই। এটি ফটোরেসিস্ট বেক প্রক্রিয়ার জন্যও উপযুক্ত তাপমাত্রা সরবরাহ করে, এমনকি যখন লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া চলছে না।
কেন এটি ব্যাক গ্রাইন্ডিংয়ে কার্যকর?
ব্যাক গ্রাইন্ডিংয়ে ওয়েফারগুলোকে অত্যন্ত পাতলা করা হয়; সাপোর্ট হিটারটিই ওয়েফারটিকে স্থিতিশীল রাখে। নির্ভুল থার্মাল ইউনিফর্মিটির ফলে আঠা স্তরে চাপ কমে যায়; ফলে গ্রাইন্ডিংয়ের সময় ওয়েফারটি সমতল থাকে। কোনো কণা উৎপন্ন না হওয়ার ফলে ওয়েফারের পিছনের অংশটি সুরক্ষিত থাকে; এতে পাতলা করার পর দূষণ কমে যায়, এবং পরবর্তী বন্ধন/প্যাকেজিং প্রক্রিয়াগুলো সহজ হয়। এই নির্ভুলতার ফলে ফটোরেসিস্ট বেক প্রক্রিয়ার জন্যও নির্ভুল তাপমাত্রা পাওয়া যায়; ফলে গুরুত্বপূর্ণ মাপগুলো নির্ধারিত মানে থাকে এবং উৎপাদনের গুণমান উন্নত হয়।
কী করতে হবে?
এই হিটারটিকে চাকের ইন্টারফেসে নির্ভুলভাবে স্থাপন করতে হবে। ভুল স্থাপনার ফলে ছোট ছোট গরম অঞ্চল তৈরি হয়, যা ইউনিফর্মিটিকে ক্ষতিগ্রস্ত করে। নিশ্চিত করুন যে পাওয়ার ও ভোল্টেজ টুলের প্রয়োজনীয়তার সাথে মিলে যায়। আঠা স্তরের থার্মাল ব্যবস্থাপনাটিও হিটারের নিয়ন্ত্রণে থাকতে হবে। ইন্টারফেস সঠিক থাকলে হিটারটি একটি স্থিতিশীল প্রক্রিয়া হিসেবে কাজ করে; অর্থাৎ এটাকে নিয়ন্ত্রণ করার দরকার নেই।