http://ir-qz-heating.com/bn/tags/%E0%A6%A4%E0%A6%BE%E0%A6%AA%E0%A6%AE%E0%A6%BE%E0%A6%A4%E0%A7%8D%E0%A6%B0%E0%A6%BE/ Recent content in তাপমাত্রা on Infrared Quartz Heating Systems Hugo bn Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/bn/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/bn/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ফটোরেসিস্ট সফট বেক তাপমাত্রা – IR"></p> <p>লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, ফটোরেসিস্টকে নরম অবস্থায় রাখার সময় অর্ধ-ডিগ্রির মতো পরিবর্তনও গুরুত্বপূর্ণ। এর ফলে লাইনের পুরুত্বে পরিবর্তন, দ্রাবকের অবশিষ্টাংশ এবং উৎপাদন হারে কমি দেখা দেয়; আর এগুলো কোনো অডিট দ্বারাও ব্যাখ্যা করা যায় না। আমরা আমাদের IR সফ্ট বেক মডিউলগুলো এই ধরনের অনিশ্চয়তাগুলো দূর করার জন্য তৈরি করেছি; কারণ ওয়েফার শুকানো ও ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় নির্ভরযোগ্য তাপ প্রয়োজন, অনুমানের নয়।</p> <p><strong>কী গুরুত্বপূর্ণ?</strong><br> আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটারগুলোকে সাধারণ ফটোরেসিস্ট দ্রাবকগুলোর শোষণ ব্যান্ডের সাথে মেলাই; ফলে শক্তি সরাসরি ফিল্মে প্রবেশ করে, আর সাবস্ট্রেটটি অতিরিক্ত উত্তপ্ত হয় না। এর ফলে দ্রুত ও নন-কন্টাক্ট হিটিং সম্ভব হয়; আর বেকিং প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের উপরিভাগে ±0.1°C এর মধ্যে সমানতা বজায় থাকে। নিয়ন্ত্রণটি ক্লোজড-লুপ পদ্ধতিতে হয়; ক্যালিব্রেটেড সেন্সর ও থার্মাল প্রোফাইল ব্যবহার করে প্রক্রিয়াটি নিয়ন্ত্রণ করা হয়। এই সিস্টেমটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এ কাজ করে; আর এটা কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না করে, ফলে ওয়েফারে কোনো ত্রুটি থাকে না।</p>