Odstranění problémů spojených s teplem: Proč mají smysl lampy bez ozonu
Přesné nastavení teploty v továrnách na výrobu polovodičů je opravdu náročné. Obvykle musíte volit mezi dosažením požadované teploty a řešením velkých environmentálních problémů. Rozhodli jsme se tento problém vyřešit pomocí lamp s infračerveným zářením bez obsahu ozonu. Jedná se o jednodušší způsob, jak získat potřebné teplo, bez všech těch komplikací.
Problém s „standardním“ světlem
Většina lamp s krátkovlnným infračerveným zářením vydává záření v rozsahu 185 nm až 254 nm. To může znít jako nudný technický detail, ale ve skutečnosti to představuje problém. Toto světlo přeměňuje kyslík ve vzduchu na ozon.
Ozon je škodlivý – jedná se o skleníkový plyn, který poškozuje zařízení v čistých prostorách. To rozhodně není ideální.
Abychom tomu zabránili, používáme speciální křemíkové obaly a vnitřní povlaky. Ty fungují jako filtr, který blokuje tyto problematické vlnové délky. Stále tak máte veškerou potřebnou tepelnou energii na zpracování waferů, ale ozon se nevytváří vůbec.
Výkon, rychlost a problémy spojené s nadměrným teplem
Rádi vkládáme velké množství wattů do krátkých trubek. Proč? Protože vysoce husté infračervené soustavy se rychle zahřívají. To znamená, že spotřebujete méně kilowatthodin na jeden wafer, což je výhoda pro všechny. Tyto systémy také umožňují rychlou reakci, abyste náhodou nepřekročili nastavené teplotní hodnoty.
Ale existuje jeden problém. Když vměstnáte tolik energie do malého prostoru, vaše zařízení bude pod velkým napětím. Pokud vaše chladicí ventilátory nejsou dostatečné, budete mít problémy. Viděl jsem to už – pokud je průtok vzduchu slabý, zařízení se přehřívá a životnost lampy se výrazně zkracuje. Musíte tedy zajistit správné chlazení, jinak prostě plýtváte penězi.
Co to ve skutečnosti znamená pro vaši továrnu
Nejlepší na tom je to, co se stane s ostatními částmi vaší továrny. Jakmile přejdete na lampy bez ozonu, můžete doslova odstranit ty těžké a objemné systémy na čištění odpadního vzduchu. To výrazně snižuje zátěž pro systémy HVAC a celkovou spotřebu energie v budově.
Je to prostá výměna – odstraníte stará zařízení, nahradíte je těmito, a vaše výkonnost zůstane stejná – akorát s mnohem menším uhlíkovým dopadem.