http://ir-qz-heating.com/cs/tags/teplota/ Recent content in Teplota on Infrared Quartz Heating Systems Hugo cs Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/cs/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/cs/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Teplota měkkého zahřívání fotorezistu IR"></p> <p>V procesu litografie není půl stupně odchylky během měkkého zahřívání fotoresistu něčím bezvýznamným. Projevuje se to v odchylkách šířky linek, zadržování rozpouštědel a ztrátě výtěžku – to vše nelze vysvětlit žádnou audicí. Naše moduly pro měkké zahřívání pomocí infračerveného záření jsou navrženy tak, aby tento faktor nejistoty eliminovaly – protože sušení desek a zpracování fotoresistu vyžadují spolehlivé teplo, nikoli odhady.</p> <p><strong>Co je důležité v praxi</strong><br> Přizpůsobujeme emitory krátkovlnného infračerveného záření absorpčnímu spektru běžných rozpouštědel fotoresistu, aby energie pronikla přímo do vrstvy fotoresistu, aniž by došlo k přehřátí substrátu. Výsledkem je <a href="https://henruite.com">rychl</a>é, bezkontaktní zahřívání s rovnoměrností ±0,1 °C na celé povrchové ploše desky. Řízení probíhá v uzavřené smyčce, pomocí kalibrovaných senzorů a termálního profilu, který lze nastavit podle konkrétního postupu – ať už jde o měkké, tvrdé nebo dodatečné zahřívání. Systém funguje v prostředí čistých místností třídy 1–100 a je navržen tak, aby nevznikaly žádné částice, čímž se snižuje počet vad na deskách.</p>