Ersatzheizer von Lam Research

Fri, 19 Jun 2026 05:49:00 +0800

In der Fertigungshalle ist eine Abweichung der Heizleistung nicht nur ein Problem im Rahmen der Wartung – sie kann auch zu Störungen in den Prozessen des Weichbrennens, Hartbrennens sowie des Trocknens der Wafer führen. Um eine konstante Qualität des Fotolacks sowie einen fehlerfreien Trocknungsprozess zu gewährleisten, ist es notwendig, dass die Temperaturstabilität innerhalb eines sehr engen Bereichs bleibt. Wenn die ursprüngliche Anlage alt wird, verringert sich dieser Bereich – und damit auch die Produktivität.

Was wirklich wichtig ist: Wir bauen Ersatzteile, die perfekt in die thermischen und mechanischen Anschlüsse von Lam Research passen. Dabei muss die Homogenität auf Wafer-Ebene bei ±0,1°C liegen, und das Ersatzteil muss mit Reinräumen der Klassen 1 bis 100 kompatibel sein. Die Infrarotwellenlängen werden so eingestellt, dass sie zu den thermischen Anforderungen des Fotolacks passen. Durch die Verwendung von Quarz- und Keramikkomponenten mit dicht verschlossenen Verbindungen entstehen keine Partikel. Die Leistung und Spannung entsprechen denen der ursprünglichen Anlage, und die Steckverbindungen sowie die Montagetoleranzen sind auf die Anforderungen der ursprünglichen Ausrüstung abgestimmt.

Forschung on Infrared Quartz Heating Systems

Ersatzheizer von Lam Research