IR on Infrared Quartz Heating Systems

Präziser IR Sensor für Wafern

Sun, 19 Jul 2026 15:27:33 +0800

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete Reflektoren einfach besser funktionieren
Beim Erhitzen von Siliziumwafern spielt jede einzige Wattzahl eine wichtige Rolle. Doch das Problem ist folgendes: Standard-IR-Lampen sind unpräzise – sie geben die Energie überallhin ab. Anstatt auf das Substrat zu wirken, heizt ein großer Teil der Energie einfach den Gehäusekörper der Maschine auf. Das ist eine Verschwendung von Strom und Zeit.

Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir hochreine Goldbeschichtungen in die Reflektoren einsetzten. Dadurch wird die Energie gezielt dorthin geleitet, wo sie hingehört – direkt nach unten.

Aluminium Reflektor für Infrarotlampe

Sun, 19 Jul 2026 15:21:48 +0800

Verhindern Sie, dass Ihre IR-Lampen Ihre Wafer zerstören!
In einer Hochlast-Semikondaktorenanlage ist ein defekter IR-Lampenkegel nicht nur ein Problem bezüglich der Betriebsunterbrechungen – es handelt sich dabei um ein echtes Albtraum-Szenario. Wenn eine Quarztube platzt, fallen Glassplitter sowie Wolframfilamente direkt auf die Wafer. Das ist chaotisch und kostspielig. Deshalb konstruieren wir unsere Heizsysteme so, dass dieses Risiko bereits im Voraus vermieden wird.

Der Schlüssel liegt im Reflektor.
Wir verwenden hochreines Aluminium. Dieses Material erfüllt gleich mehrere Funktionen: Zunächst lenkt es das IR-Licht wieder zurück auf die Wafer – dadurch bleiben die Energiekosten niedrig. Doch noch wichtiger ist, dass der Reflektor eine Art Schutzschicht darstellt. Durch die präzise Fertigung der Aluminiumhülle bleibt der größte Teil der Schäden innerhalb dieser Hülle gefangen, falls die Tube doch kaputtgeht. So entsteht ein besseres Wärmeprofil und somit auch mehr Sicherheit.

Keramisches Endkappen für IR Emitter

Fri, 17 Jul 2026 05:54:56 +0800

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete IR-Emitter einfach besser funktionieren
Wenn Sie Halbleiterwafer verarbeiten, ist der Energieverbrauch nicht nur ein finanzielles Problem – es handelt sich dabei auch um einen Konstruktionsfehler.
Denken Sie daran, wie ein herkömmlicher IR-Strahler funktioniert: Ein großer Teil der abgegebenen Wärme geht in die falsche Richtung – also dorthin, wo sie eigentlich nicht benötigt wird. Es ist, als würde man versuchen, einen Raum mit einer Taschenlampe zu beleuchten, bei der die Hälfte des Lichts nach hinten entweicht.
Deshalb verwenden wir goldbeschichtete Reflektoren sowie keramische Endkappen. Dadurch wird die Energie gezwungen, wieder auf den Wafer zu treffen.
Die Magie der Goldbeschichtung
Herkömmliche Quarztuben strahlen Wärme in alle Richtungen ab – das ist unpraktisch. Durch die Verwendung einer hochreinen Goldbeschichtung auf der Rückseite des Emitters entsteht ein Spiegel, der speziell für Infrarotstrahlung geeignet ist.
Warum Gold? Weil es Infrarotstrahlung viel besser reflektiert als Aluminium oder Edelstahl.
Das Ergebnis ist einfach: Fast jede verbrauchte Wattstunde wird effektiv genutzt. Dadurch entsteht ein intensiverer Wärmestrom auf dem Wafer – ohne dass man die Leistung erhöhen muss. Es ist einfach effizienter.
Keramik als Hilfe
Zudem gibt es noch die keramischen Endkappen. Sie sorgen dafür, dass die heiße Quarztube ordentlich mit den elektrischen Anschlüssen verbunden bleibt. Dadurch werden elektrische Entladungen verhindert und das Ganze bleibt stabil.
Das ist wichtiger, als man denkt. Wenn die Lampe auch nur ein paar Millimeter verschoben wird, ändert sich die Verteilung der Wärme. Dadurch entstehen „heiße Punkte“ – und plötzlich sind ganze Chargen von Wafern ruiniert. Das ist sicherlich kein angenehmes Gefühl.
Der Kompromiss (Denn nichts ist umsonst)
Hier liegt das Problem: Wenn man so viel Energie auf ein Ziel konzentriert, muss das Kühlsystem intensiver arbeiten. Da die Wärme so konzentriert ist, nehmen die umliegenden Komponenten mehr Wärme auf, als bei einer herkömmlichen Lampe der Fall wäre. Man muss daher sicherstellen, dass die Lüfter oder Wasserkühler diese zusätzliche Last bewältigen können. Andernfalls können die Komponenten beschädigt werden.
Falls die Stromversorgung ausreicht, handelt es sich dabei um einen einfachen Ersatz. Im Grunde wird eine breite, ineffiziente Wärmequelle in ein präzises Werkzeug umgewandelt.

Temperatur für die sanfte Erhitzung des Fotorezists im IR Bereich

Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800

Im Bereich der Lithografie ist eine Abweichung von einem halben Grad beim Weichbrennvorgang des Photoresists keine unbedeutende Einzelheit. Sie zeigt sich in Abweichungen der Linienbreite, im Verbleib des Lösungsmittels sowie im Rückgang der Erträge – Dinge, die durch keine Prüfung erklärt werden können. Wir haben unsere IR-Weichbrennmodule so konstruiert, dass diese Unsicherheiten beseitigt werden. Schließlich erfordern das Trocknen der Wafern sowie die Behandlung des Photoresists eine wiederholbare Wärmezufuhr – nicht Vermutungen.