Kwarc Heizrohr für Ofen zur Fabrikation

Wed, 01 Jul 2026 12:30:51 +0800

In der Produktion ist das Erhitzen des Fotolacks keine Art „Wärmeaufwärmphase“. Es handelt sich dabei vielmehr um einen entscheidenden Schritt im Herstellungsprozess. Selbst eine Verschiebung der Temperatur um 1°C kann dazu führen, dass sich die CD-Werte ändern, die Winkel der Seitenwände beeinflusst werden und die Defektdichte steigt. Der Quarzkern des Ofens muss eine zuverlässige Wärmeabgabe gewährleisten – ohne Partikelbildung und ohne Störungen.

Was wirklich wichtig ist: Wir entwickeln diese Kerne dafür, dass sie in der Lage sind, bei dünnen Wafern eine konstante Temperatur zu halten – und zwar auch unter wechselnden Belastungen. Die Temperaturgleichmäßigkeit liegt dabei bei ±0,1°C. Dadurch bleibt die Setpoint-Temperatur konstant, ohne dass es zu Überschreitungen kommt. Mittelwellen-Infrarot sorgt für eine schnelle Reaktion – dadurch wird die Zeit bis zur vollständigen Erhitzung reduziert, und die Zykluszeit bleibt konstant.

Kwarts on Infrared Quartz Heating Systems

Kwarc Heizrohr für Ofen zur Fabrikation