Oven mit Infrarotheizer für Reinraumbereiche

Mon, 27 Jul 2026 08:31:46 +0800

Aufhören mit der Erwärmung der Luft – eine intelligente Methode zur Betriebsführung von Reinräumen
Wenn wir tatsächlich die Ziele der Kohlenstoffneutralität in den Halbleiterfabriken erreichen wollen, müssen wir auf die alten, konventionellen Heizmethoden verzichten. Stellen Sie sich vor: Diese Heizmethoden erwärmen den gesamten Raum – die Luft, die Wände, einfach alles – nur damit die Wafer die richtige Temperatur erreichen. Das ist eine enorme Energieverschwendung.

Daher kommt die Infrarot-Heizung ins Spiel. Anstatt den ganzen Raum zu erhitzen, wird mit Infrarotenergie direkt auf die Wafer geleitet. Dadurch wird Energie eingespart, und es entsteht keine unnötige Wärmeentwicklung.

Kwarc Heizrohr für Ofen zur Fabrikation

Wed, 01 Jul 2026 12:30:51 +0800

In der Produktion ist das Erhitzen des Fotolacks keine Art „Wärmeaufwärmphase“. Es handelt sich dabei vielmehr um einen entscheidenden Schritt im Herstellungsprozess. Selbst eine Verschiebung der Temperatur um 1°C kann dazu führen, dass sich die CD-Werte ändern, die Winkel der Seitenwände beeinflusst werden und die Defektdichte steigt. Der Quarzkern des Ofens muss eine zuverlässige Wärmeabgabe gewährleisten – ohne Partikelbildung und ohne Störungen.

Was wirklich wichtig ist: Wir entwickeln diese Kerne dafür, dass sie in der Lage sind, bei dünnen Wafern eine konstante Temperatur zu halten – und zwar auch unter wechselnden Belastungen. Die Temperaturgleichmäßigkeit liegt dabei bei ±0,1°C. Dadurch bleibt die Setpoint-Temperatur konstant, ohne dass es zu Überschreitungen kommt. Mittelwellen-Infrarot sorgt für eine schnelle Reaktion – dadurch wird die Zeit bis zur vollständigen Erhitzung reduziert, und die Zykluszeit bleibt konstant.

Ofen on Infrared Quartz Heating Systems

Oven mit Infrarotheizer für Reinraumbereiche

Kwarc Heizrohr für Ofen zur Fabrikation