Sensor on Infrared Quartz Heating Systems

Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensor Wafern

Wed, 22 Jul 2026 04:30:06 +0800

Reduzierung des Kohlenstoffausstoßes beim Trocknen von MEMS-Wafern
Wir ersetzen die alten, unpraktischen Konvektionsöfen durch Infrarot-Hebelampen beim Trocknen unserer MEMS-Sensorwafern. Das Ziel ist ganz einfach: Die Feuchtigkeit von den Wafern schneller entfernen und dabei weniger Energie verbrauchen.

Wenn Sie schon einmal in einer Fertigungsfabrik gearbeitet haben, wissen Sie, wie viel Energie nötig ist, um eine große Menge Luft zu erhitzen – nur damit ein winziger Siliziumblock getrocknet werden kann. Das ist eine Verschwendung. Der Übergang zu einer „grünen Fabrik“ bedeutet letztlich nichts anderes als die Beendigung dieser Verschwendung.

Intelligente Sensorverpackung Infrarot

Mon, 20 Jul 2026 11:35:43 +0800

Warum wir die Infrarotbehandlung für die Verarbeitung bleifreier Verpackungen verwenden
Beim Umgang mit der Verpackung intelligenter Sensoren muss man sehr vorsichtig sein. Man braucht genügend Wärme, um die Klebstoffe zu härten und die Chips an ihrem Platz zu fixieren – doch wenn man zu viel Wärme verwendet, wird das Silizium zerstört. Deshalb nutzen wir die Infrarotbehandlung.

Im Gegensatz zu den großen Konvektionsöfen, die versuchen, jeden Kubikzentimeter Luft zu erwärmen, arbeitet die Infrarotbehandlung durch Strahlung. Dabei wird die Luft überhaupt nicht berührt – die Wärme trifft direkt auf das Substrat sowie das Verpackungsmaterial. Das ist eine viel effektivere Methode.

Präziser IR Sensor für Wafern

Sun, 19 Jul 2026 15:27:33 +0800

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete Reflektoren einfach besser funktionieren
Beim Erhitzen von Siliziumwafern spielt jede einzige Wattzahl eine wichtige Rolle. Doch das Problem ist folgendes: Standard-IR-Lampen sind unpräzise – sie geben die Energie überallhin ab. Anstatt auf das Substrat zu wirken, heizt ein großer Teil der Energie einfach den Gehäusekörper der Maschine auf. Das ist eine Verschwendung von Strom und Zeit.

Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir hochreine Goldbeschichtungen in die Reflektoren einsetzten. Dadurch wird die Energie gezielt dorthin geleitet, wo sie hingehört – direkt nach unten.

Heizer zur Herstellung von Wasserstoff Sensoren

Fri, 17 Jul 2026 06:01:48 +0800

Wie man seine Wasserstoffsensoren sauber hält
Wenn Sie in einem Reinraum der Klasse 100 arbeiten, kennen Sie das Problem: Schon ein winziger Staubkorn oder Gase, die von Heizelementen freigesetzt werden, können dazu führen, dass die gesamte Charge unbrauchbar wird. Das ist frustrierend – man investiert Stunden in den Aufbau eines Sensors, nur um festzustellen, dass seine Empfindlichkeit wegen defekter Heizelemente sinkt.

Deshalb verwenden wir IR-Lampen aus hochreinem Quarz.

Warum Quarz funktioniert
Die meisten Heizelemente bestehen aus Legierungen oder Keramiken. Das Problem: Wenn sie heiß werden, geben sie Partikel oder Gase ab. Das ist nicht ideal, wenn man eine vollständige Keimfreiheit anstrebt. Wir verwenden daher gefassten Siliziumdioxid. Dieses Material ist äußerst widerstandsfähig gegen Hitze – es kracht nicht, wenn die Temperatur schnell erhöht oder gesenkt wird, und es gibt keine Stellen, an denen sich Verunreinigungen verstecken können. Zudem dringt das Infrarotlicht direkt in das Substrat ein. Es ist also nicht notwendig, Luft zum Leiten der Wärme zu verwenden – dadurch werden keine Staubpartikel in den Arbeitsbereich geblasen.