http://ir-qz-heating.com/de/tags/weich/ Recent content in Weich on Infrared Quartz Heating Systems Hugo de Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/de/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/de/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Temperatur für die sanfte Erhitzung des Fotorezists im IR Bereich"></p> <p>Im Bereich der Lithografie ist eine Abweichung von einem halben Grad beim Weichbrennvorgang des Photoresists keine unbedeutende Einzelheit. Sie zeigt sich in Abweichungen der Linienbreite, im Verbleib des Lösungsmittels sowie im Rückgang der Erträge – Dinge, die durch keine Prüfung erklärt werden können. Wir haben unsere IR-Weichbrennmodule so <a href="https://o-yate.net">konstruiert</a>, dass diese Unsicherheiten beseitigt werden. Schließlich erfordern das Trocknen der Wafern sowie die Behandlung des Photoresists eine wiederholbare Wärmezufuhr – nicht Vermutungen.</p>