Gehäusefertigung aus Edelstahl für Heizgeräte

Tue, 02 Jun 2026 08:47:21 +0800

Auf dem Fertigungsboden ist das Backen des Photoresists keine Option – es ist eine zwingende Vorgabe. Eine Abweichung von 2°C beim Softbake oder Hardbake beeinträchtigt die Kontrolle der kritischen Dimensionen und verringert die Ausbeute. Das Heizgehäuse muss die thermische Vorgabe in reale Leistung im Feld umsetzen, ohne zusätzliche Partikelrisiken zu verursachen oder thermische Trägheit einzubringen.

Was unter der Haube tatsächlich zählt

Wir fertigen das Heizgehäuse aus Edelstahl um Kurzwellige-Infrarotelemente, die eine submillimetergenaue, gleichmäßige Wärmeverteilung gewährleisten – und das reproduzierbar von Charge zu Charge. Das thermische Feld folgt dem Sollwert mit engem Toleranzbereich, sodass Ihre Photoresist-Backprofile innerhalb der Spezifikation bleiben.
Das Gehäuse ist für Reinraumumgebungen vorbereitet, mit geschweißten Nähten und glatten Oberflächen, die die Partikelbildung minimieren. In der Praxis führt das zu weniger Lithografieabweichungen und stabilerer Gleichmäßigkeit der kritischen Dimensionen auf dem Wafer.

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Gehäusefertigung aus Edelstahl für Heizgeräte

Was unter der Haube tatsächlich zählt