Lámpara calefactora TEL (Tokyo Electron)

Thu, 18 Jun 2026 04:07:52 +0800

En el proceso de litografía, un desviación de 0,5°C durante el secado del fotoretino es suficiente para que las dimensiones críticas no cumplan con los requisitos establecidos, lo que resulta en la pérdida de grandes cantidades de productos terminados. Las lámparas calentadoras de TEL están diseñadas teniendo en cuenta que la temperatura no es simplemente una lectura en pantalla; se trata más bien del “presupuesto térmico” del patrón que se está creando.

Lo que realmente importa Elegimos lámparas de infrarrojo de onda corta con un control espectral preciso, de modo que puedan adaptarse a la absorción del cuarzo y actuar rápidamente sobre la oblea, una y otra vez. La uniformidad a nivel de la oblea debe mantenerse dentro de un rango de ±0,1°C en toda la superficie a ser tratada. La compatibilidad con salas limpias de clase 1–100 se logra gracias al uso de materiales con baja emisión de gases y sin generación de partículas. El sistema funciona 24/7, con períodos de mantenimiento predecibles, por lo que no hay interrupciones no planificadas en el proceso de producción.

Electrón) on Infrared Quartz Heating Systems

Lámpara calefactora TEL (Tokyo Electron)