
جلوگیری از انفجار دستگاههای استفاده شده برای کار با ویفرها باید صادقانه بگوییم: ترکیب لامپهای گرمایش مادون قرمز با مواد شیمیایی قابل اشتعال، راهی برای فاجعه است. اگر تا به حال با این مواد شیمیایی کار کردهاید، میدانید که چقدر میتوانند خطرناک باشند. یک جرقه یا سطحی که دمایش بیش از حد باشد، میتواند منجر به انفجار شود. به همین دلیل، ما لامپهای مادون قرمز خود را به شکلی طراحی کردهایم که در برابر خطرات مقاوم باشند. جلوگیری از نشت مواد شیمیایی اکثر لامپهای معمولی دارای مشکل نشت مواد شیمیایی هستند؛ در محیطهای تمیزکاری، این موضوع واقعاً یک فاجعه است. بخارات مواد شیمیایی وارد بدنه لامپ میشوند و با لولههای گرم قرار گرفته در بدنه لامپ تماس پیدا میکنند؛ در نتیجه انفجار رخ میدهد. ما این مشکل را با استفاده از درزبندیهای محکم در انتهای لامپ حل کردیم؛ این کار باعث میشود که مواد شیمیایی در جای خودشان باقی بمانند. ما فقط به درزبندیها بسنده نکردیم؛ از پلاستیکهای ارزانقیمتی که در برابر مواد شیمیایی تغییر شکل میدهند، استفاده نکردیم. در عوض، از فولاد ضدزنگ یا پلیمرهای با کیفیت بالا استفاده کردیم؛ این کار باعث میشود که بدنه لامپ محکم بماند و نگرانی از فرسودگی بدنه لامپ در حین کار وجود نداشته باشد. کنترل دما درزبندی خوبی وجود دارد، اما اگر سطح خارجی لامپ به اندازه کافی گرم باشد، میتواند هوای اطراف را نیز به آتش بکشد. اگر دمای پوست به نقطه اشتعال مواد شیمیایی برسد، آتشسوزی رخ خواهد داد. برای جلوگیری از این امر، ما زمان زیادی را صرف کنترل جریان هوا و کاهش دما کردیم؛ ما میخواهیم که گرما به ویفر برسد، نه به اتاق. در مکانهایی که خطر بالاتری وجود دارد، از ساختارهای دو لایه یا گازهای خنثی استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود که گرمای خطرناک در داخل لامپ باقی بماند، در حالی که سطح خارجی لامپ خنک باقی بماند. معایب این روش مشکل اینجاست که تمام این محافظتها باعث افزایش وزن لامپ میشود. چون لامپها به شکل بهتری محافظت میشوند، اینترسیته حرارتی آنها نیز بیشتر میشود. به عبارت ساده، لامپ برای رسیدن به دمای مورد نظر، چند ثانیه بیشتری زمان نیاز دارد. نباید این موضوع را نادیده گرفت. شما باید زمانهای لازم برای رسیدن لامپ به دمای مورد نظر را در نرمافزار مربوطه تنظیم کنید. اگر این تنظیمات را به حال خود رها کنید، ممکن است دمای لامپ دچار نوسانات شود. فقط یک تنظیم ساده کافی است تا همه چیز به حالت عادی برگردد.