در کارخانههای تولید، فرآیند خشک کردن چسب، صرفاً یک فرآیند ساده نیست؛ بلکه یک فرآیند حرارتی است که بر روی بازدهی تولید تأثیر زیادی دارد. همین اصول در مورد فرآیندهای نرم و سخت شدن فوتورزیست نیز صادق است؛ دما باید به طور یکنواخت باشد. چسبهای مورد استفاده برای اتصال قطعات نیز نیاز به یکنواختی دما دارند. اگر دمای منطقه گرم، ناپایدار باشد، مشکلاتی مانند ضعف چسبندگی و اختلالات مربوط به چرخش قطعات رخ خواهد داد.
آنچه را در سیستم لحاظ کردهایم:
ما از منابع نور مادون قرمز برای خشک کردن چسب استفاده کردهایم؛ این منابع با باندهای جذب چسب هماهنگ هستند، بنابراین انرژی در جای مناسب تخصیص مییابد. دمای منطقه گرم، در سراسر ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، اتاق کاربردی برای کار در محیطهای پاکسازی شده کلاس ۱–۱۰۰ طراحی شده است تا تولید ذرات ناخواسته به حداقل برسد. یکنواختی دما در طول فرآیند تولید، باعث میشود که پروفایلهای فرآیند لیتوگرافی و زمان خشک شدن چسب در محدوده مشخصی باقی بماند.
چرا این روش در تولید مؤثر است:
در تولید واقعی، این روش باعث پایداری ابعاد مهم قطعات و کاهش تعداد محصولات ناموفق میشود. نور مادون قرمز، لایههای چسب را به طور یکنواخت خشک میکند؛ این امر باعث کاهش تنشهای حرارتی و جلوگیری از خشک شدن ناقص چسب در نقاط خاص میشود. همچنین، این روش باعث کاهش مصرف گاز در مقایسه با فرآیندهای استفاده از گرمای متناوب میشود؛ همچنین، استحکام خطوط اتصال نیز یکنواخت باقی میماند. این امر باعث کاهش تعداد ویفرهای اضافی، افزایش زمان کارکرد دستگاه و کاهش مصرف انرژی برای هر ویفر میشود.
نکاتی که باید در نظر گرفت:
فرآیند خشک کردن با نور مادون قرمز، نیازمند خط دید مناسب است؛ بنابراین، شکل قطعات و سایههای ایجاد شده توسط آنها اهمیت دارند. برای قطعاتی که دارای ویژگیهای بلند هستند، ممکن است نیاز به یک مرحله خشک کردن اضافی باشد. ما اندازه لامپها و سیستمهای نوری را به گونهای تنظیم کردهایم که کاهش نور در لبهها به حداقل برسد؛ اما همچنان لازم است که پروفایل فرآیند را روی ویفرهای واقعی بررسی کنید.