دیگر اجازه ندهید گرمای تولید شده در فرآیند پردازش ویفرها هدر برود. مشکل محیط‌های خلأ این است که در آنجا، جابجایی گرما از طریق هوا امکان‌پذیر نیست؛ بنابراین برای انتقال گرما، باید از تابش استفاده کرد. اگر این انرژی به سطح ویفر برخورد نکند، کاملاً هدر خواهد رفت. این انرژی هدررفته، باید توسط دستگاه‌های خنک‌کننده از بین برود. به همین دلیل از بازتابنده‌های پوشیده شده با طلا استفاده می‌کنیم؛ این روش منطقی است. چرا طلا؟ بازتابنده‌های استاندارد آلومینیومی برای مدتی کارساز هستند، اما در دماهای بالا و در شرایط خلأ مداوم، دچار خرابی می‌شوند. طلا متفاوت است؛ آن می‌تواند انرژی مادون قرمز را بهتر بازتاب دهد و بخش بزرگی از فوتون‌ها را دوباره به سمت ویفر فرستد. مسئله اصلی، «مقدار بیشتر گرما» نیست، بلکهکنترلگرماست. در عوض اینکه فقط توان لامپ را افزایش دهیم و امیدوار به بهترین نتیجه باشیم، می‌توانیم انرژی را دقیقاً در جایی که لازم است، تمرکز کنیم. نتیجه؟ دمای یکنواختی در سراسر ویفر. مشکلات مربوطه قرار دادن این بازتابنده‌ها در فضای محدود، همیشه آسان نیست. لایه طلا بسیار نازک است؛ همچنین حساس نیز هست. اگر در حین نصب، کارگران به طور تصادفی این لایه را خراش دهند، در ویفر یک نقطه سرد ایجاد خواهد شد. این اشتباه کوچک، می‌تواند مشکلات بزرگی ایجاد کند. همچنین، به دلیل بازتاب انرژی توسط طلا، خود لامپ نیز گرم‌تر می‌شود. نمی‌توانیم فقط این بازتابنده‌ها را نصب کنیم و فراموششان کنیم؛ باید مطمئن شویم که دستگاه‌های خنک‌کننده و پمپ‌های خلأ بتوانند این بار اضافی را تحمل کنند. اگر سیستم خنک‌کننده ضعیف باشد، فیلامنت‌های لامپ سریع‌تر از حد معمول خراب خواهند شد. مزایا مزایای این روش، ارزش تلاش برای استفاده از آن را دارد. با این روش، می‌توانیم به سرعت به دمای مورد نظر برسیم؛ در نتیجه، زمان فرآیند کاهش می‌یابد. علاوه بر این، به دلیل تمرکز انرژی، می‌توانیم میزان توان مصرفی را کاهش دهیم و در عین حال ویفر را در دمای مناسب نگه داریم. این روش، راه ساده‌ای برای پردازش تعداد بیشتری ویفر است، بدون نیاز به استفاده از تعداد بیشتری هیتر.